'코쿠사이와 특허분쟁' 유진테크, 먼저 웃었다 작성일 05-28 34 목록 <div id="layerTranslateNotice" style="display:none;"></div> <strong class="summary_view" data-translation="true">특허법원, 28일 '코쿠사이 특허 1건 상당수 무효' 심판원 판단 유지</strong> <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> <section dmcf-sid="4DNjtEiPjA"> <p contents-hash="527cf9e659655025bc453facbb3d520558c538e9d9613660f2c0ef6e254b4620" dmcf-pid="8wjAFDnQAj" dmcf-ptype="general">(지디넷코리아=이기종 기자)<span>일본 코쿠사이와 반도체 공정용 원자층증착(ALD) 장비를 놓고 특허분쟁 중인 유진테크가 먼저 웃었다. 쟁점특허 4건 중 1건의 권리범위(청구항) 대부분 무효라는 특허심판원 판단이 특허법원에서도 유지됐다. </span></p> <p contents-hash="2f33a259c83d0ef7caa27158f6e00c8264b62e237306a004a0763456d9132248" dmcf-pid="6M48Oxb0gN" dmcf-ptype="general"><span>특허법원은 28일 코쿠사이의 특허 '기판 처리장치 및 반도체 장치의 제조방법'(등록번호 1037961) 관련 심결취소소송 3건을 모두 기각했다. 3건 중 2건은 특허심판원의 무효 판단(심결)에 대한 항소, 나머지 1건은 특허심판원의 정정심판 심결에 대한 항소였다. 특허법원이 3건 모두 기각하면서 특허심판원 판단이 </span><span>유지됐다. </span></p> <p contents-hash="a788b0d46563c0b3166e9ea41c39867c6248a03ce8374a64e50158c4e57abd45" dmcf-pid="PR86IMKpja" dmcf-ptype="general"><span>앞서 특허심판원은 지난 2024년 12월 코쿠사이의 '961 특허의 청구항 2~6항, 8~18항, 20항이 무효라고 판단했다. 유진테크는 2024년 4월 무효심판을 청구하며 해당 특허의 2~18항, 20항이 무효라고 주장했는데, 7항을 빼고는 특허심판원이 모두 받아들였다.</span></p> <p contents-hash="175df4bef6ef54b8a24dfefba33c8e5f01b27273180ad53728ffa2f8b5f155c4" dmcf-pid="Qe6PCR9Ucg" dmcf-ptype="general">당시 특허심판원 심결 중 만족하지 못하는 부분에 대해 코쿠사이와 유진테크가 각각 불복하고 특허법원에 심결취소소송을 제기했던 것인데, 이번에 특허법원은 특허심판원 판단에 오류가 없다고 판단했다. </p> <p contents-hash="98fbd3039e3a0cf18473f95266e9dad9cee8b2d2ed8d1cd1f21f67c1a5fbb003" dmcf-pid="xdPQhe2uao" dmcf-ptype="general">코쿠사이는 특허심판원에서 2024년 12월 무효심판 심결이 나온 뒤 2025년 4월 정정심판을 청구했지만, 지난 1월 기각됐다. 여기에 대해서도 코쿠사이가 항소했지만 특허법원은 받아들이지 않았다. 정정심판은 일반적으로 특허가 무효가 될 가능성이 클 때 권리범위를 좁히기 위해 사용한다. </p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="6acaa1673235832b384a8db3cc1b2eff443637ecc67185e30922c84fc5ffff45" dmcf-pid="yHvT4GOckL" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="유진테크 해리어 (사진=유진테크)" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202605/28/ZDNetKorea/20260528152354049fpms.png" data-org-width="639" dmcf-mid="3jCOBlkLav" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img4.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202605/28/ZDNetKorea/20260528152354049fpms.png" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 유진테크 해리어 (사진=유진테크) </figcaption> </figure> <p contents-hash="9d1814d42530cec5184299d3f984fb04fc06414c6ed960b265340444ece28ae4" dmcf-pid="WXTy8HIkjn" dmcf-ptype="general"><span>유진테크는 코쿠사이가 침해했다고 주장하는 특허 </span><span>4건 중 1건('961 특허)에 대해선 우선 유리한 고지를 점</span><span>했다. 다만, 특허심판원에 이어 특허법원도 유효라고 판단한 '961 특허의 청구항 7항은 변수가 될 수 있다. </span></p> <p contents-hash="6dc6be413bcd2e47ea29c97b2b0f9228b2ddcd7f23296742ba54000e3bed1047" dmcf-pid="YZyW6XCEgi" dmcf-ptype="general">이번 특허법원 판결에 대해 양측 모두 대법원에 상고할 수 있지만, 특허사건은 대법원에서 결론이 바뀌는 경우가 많진 않다. </p> <p contents-hash="c75a994e39c4c41893621d32436e4827cb476232c29a1fb7acd80e69d7c5d164" dmcf-pid="G5WYPZhDkJ" dmcf-ptype="general">이번 판결에서 다룬 '961 특허는 웨이퍼의 가장자리(외주부)에 비해 중심부까지 가스가 잘 도달하지 않아 막이 불균일하게 형성되는 문제를 해결하기 위해, 처리가스 노즐 양옆에 불활성 가스(N2 등)를 분사하는 한 쌍의 노즐을 배치하는 기술이 핵심이다. </p> <p contents-hash="0b7a8596fa0e8c095417b9280e6eb4e47f2db7afd85292982048ddf8e61fae30" dmcf-pid="H1YGQ5lwjd" dmcf-ptype="general">코쿠사이의 또 다른 특허 '반도체 장치의 제조방법, 기판 처리장치 및 프로그램'(등록번호 2472052)에 대한 특허법원 판결은 7월 나올 예정이다.</p> <p contents-hash="b9a17395a82583675bee92ec907d868aa82d31b47913ba2ce4911fa5c1ecaea1" dmcf-pid="XtGHx1Srke" dmcf-ptype="general">'052 특허를 상대로 유진테크가 특허심판원에 청구했던 무효심판은 2024년 12월 기각됐다. 유진테크는 특허법원에 항소했다. 코쿠사이는 '052 특허에 대해서도 특허심판원에 정정심판을 청구했는데, 2025년 12월 기각됐다. 이에 대해서도 코쿠사이는 특허법원에 항소했다. </p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="83d6cd8c95c1a6e28889696b1b14a68863f1b8b8df02fb85699f17cd8938e138" dmcf-pid="ZFHXMtvmNR" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202605/28/ZDNetKorea/20260528152355321npkh.png" data-org-width="638" dmcf-mid="fepUgq5TAc" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img2.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202605/28/ZDNetKorea/20260528152355321npkh.png" width="658"></p> </figure> <p contents-hash="98e3c1625f5fba87b183a9558d091357e32db4210974a889f75e39658417b846" dmcf-pid="53XZRFTsjM" dmcf-ptype="general"><span>또, 코쿠사이의 </span><span>'기판 처리장치, 반도체 장치의 제조방법 및 기록매체'(등록번호 1969277)에 대해 특허심판원은 2025년 12월 일부 청구항이 무효라고 심결했다. </span></p> <p contents-hash="e1709873d3f93691ebfb4f991f45bd3cc25a9e0c4982331bb328f483308da38e" dmcf-pid="10Z5e3yOax" dmcf-ptype="general">당시 특허심판원이 무효라고 판단한 '277 특허의 청구항은 1~3항, 7항, 9~20항 등이다. 유효라고 판단된 청구항은 4항, 5항, 6항, 8항 등이다. 코쿠사이와 유진테크 모두 불복하고 특허법원에 항소했다. '277 특허에 대한 변론은 아직 끝나지 않았다. </p> <p contents-hash="b5adc8949235b59b3b4a765aef456c00db245a4f95df655834c3a8cfc86090c3" dmcf-pid="tvOIbSEocQ" dmcf-ptype="general">나머지 특허 '기판 처리장치, 반도체 장치의 제조방법, 플라스마 생성부, 프로그램, 플라스마 생성방법, 전극 및 반응관'(등록번호 2149644)에 대한 특허심판원 판단은 아직 나오지 않았다. </p> <p contents-hash="f262e2c47866fcac7963181b9ac4770f6cddfab6fa4596bc913452a19e270fc0" dmcf-pid="FTICKvDgoP" dmcf-ptype="general"><span>코쿠사이는 삼성전자의 특정 공정용 ALD 장비를 독점 공급해왔는데, 유진테크가 이 시장에 진입하자 지난 2024년 특허침해소송을 제기했다. 유진테크는 이에 대응해 특허무효심판을 </span><span>청구했다. </span></p> <p contents-hash="5fd82e2a9615f68c08245fd15f32996673ba8505d8b81d881b16cbc55204c39f" dmcf-pid="3yCh9TwaN6" dmcf-ptype="general">이기종 기자(gjgj@zdnet.co.kr)</p> </section> </div> <p class="" data-translation="true">Copyright © 지디넷코리아. 무단전재 및 재배포 금지.</p> 관련자료 이전 한국인 10명중 4명 AI 사용...하루 50분 쓴다 05-28 다음 이강인, 스타랭킹 남자 11주 연속 1위 질주... 49차 투표부터 후보 확대 05-28 댓글 0 등록된 댓글이 없습니다. 로그인한 회원만 댓글 등록이 가능합니다.
