“반도체 초순수도 국산화”…기후부, SK실트론에 첫 현장 공급 작성일 05-18 36 목록 <div id="layerTranslateNotice" style="display:none;"></div> <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> <section dmcf-sid="fuMViISrsH"> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="3175f75cdb2927617ed18695282ea82d24fce9df1402039ff287a2833d0d0b50" dmcf-pid="4LCETzKpDG" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="유기물 제거 공정에 투입된 '자외선 산화장치'. 사진 출처 : 기후에너지환경부" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202605/18/etimesi/20260518120233498axbh.jpg" data-org-width="700" dmcf-mid="KltsH94qI1" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img2.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202605/18/etimesi/20260518120233498axbh.jpg" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 유기물 제거 공정에 투입된 '자외선 산화장치'. 사진 출처 : 기후에너지환경부 </figcaption> </figure> <p contents-hash="3e73f2a9a2623e2cc5a22263258683a6424c7065e76475b47b85033aa84fb2d0" dmcf-pid="8ohDyq9UmY" dmcf-ptype="general">기후에너지환경부가 국내 기술로 생산한 초순수를 실제 반도체 제조공정에 처음 공급한다. 반도체 핵심 공정용수인 초순수의 공급망 자립 기반을 확보했다는 평가다.</p> <p contents-hash="5c986f60fed1521aad8304fb738b6b5f89c2996f3db5c5830a3402eb884eb8cf" dmcf-pid="6glwWB2urW" dmcf-ptype="general">기후부는 19일 경북 구미 SK실트론 사업장에서 '고순도 공업용수(초순수) 생산 국산화 기술개발 사업' 성과물인 초순수 실증설비 기술이전을 위한 협약식을 개최한다고 18일 밝혔다.</p> <p contents-hash="954464b3b0059c09ef867e1fe484edf103a4d333c7743ae5f9347888271ae588" dmcf-pid="PaSrYbV7my" dmcf-ptype="general">초순수는 물속 불순물을 극미량 수준까지 제거한 물로 반도체 웨이퍼 세정 등에 사용되는 핵심 공정용수며, 디스플레이·태양광 패널·이차전지·바이오 등 정밀 첨단산업 전반에 필수적인 기반 자원이다. 다만, 이온 농도를 1ppt(1조분의 1) 이하, 용존산소 농도를 1ppb(10억분의 1) 이하로 관리해야 하는 최고난도 수처리 기술이 요구된다.</p> <p contents-hash="5e12d51315f24b21c0d93300de07d7206ffae28bfa310d59d36a15c9273791c8" dmcf-pid="QNvmGKfzwT" dmcf-ptype="general">그동안 초순수 생산기술은 쿠리타, 노무라 등 일본 기업이 전 세계시장을 사실상 독점해왔다. 일본 정부가 2019년 반도체 소재에 대한 수출규제에 이어 한국을 화이트리스트(백색 국가)에서 제외하면서, 한국 정부는 2021년부터 국산화 사업을 추진해왔다. 설계·시공·운영 전 과정에 국내 기술이 적용된 초순수 실증설비는 수요처인 SK실트론 구미사업장에 설치하여 그 성능을 실증했다.<br></p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="3895dcd5779c3ec6e0143ac8076a0ccc54b7c0e695059aaf9f246e2ba1715dff" dmcf-pid="xjTsH94qEv" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="용존산소 제거공정에 투입된 '탈기막'. 사진 출처 : 기후에너지환경부" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202605/18/etimesi/20260518120234815khdb.jpg" data-org-width="700" dmcf-mid="9b0C5fPKr5" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img4.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202605/18/etimesi/20260518120234815khdb.jpg" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 용존산소 제거공정에 투입된 '탈기막'. 사진 출처 : 기후에너지환경부 </figcaption> </figure> <p contents-hash="8fe444b8a3ca0d4191510077e7a6e2381b9635fa833177e42ee9b15b27b4a245" dmcf-pid="ypQ9dshDrS" dmcf-ptype="general">특히 초순수 핵심 공정에는 국내 기업과 기관이 개발한 국산 장치·소재가 대거 적용됐다.</p> <p contents-hash="e99a67cb3a3606d0f4a989b6c1f0c5e3a963709720a00ed05841fe5747151d16" dmcf-pid="WUx2JOlwOl" dmcf-ptype="general">유기물 제거 공정에는 에코셋·클루가 개발한 자외선 산화장치가 투입됐고, 용존산소 제거 공정에는 세프라텍의 탈기막 기술이 적용됐다. 또 이온 제거·수질 고도화 공정에는 국산 이온교환수지가 활용됐다. 실증설비의 설계·시공·운영 통합 기술은 한국수자원공사와 한성크린텍, 진성이엔씨, SK에코플랜트가 공동 수행했으며, 하루 2400㎥ 규모 실증플랜트를 구축해 장기간 운영 성능을 검증했다. 한국산업기술시험원은 초순수 수질 및 반도체 폐수 재이용 성능 검증 체계를 마련했고, 한국건설기술연구원은 반도체 폐수 재이용 기반 원수 확보 기술 개발도 병행했다.</p> <p contents-hash="98a39355d398942053fac3fc17b5d700f2d4a5e3ac753a1252f6d935d4409138" dmcf-pid="YuMViISrEh" dmcf-ptype="general">기술이전으로 생산된 초순수는 SK실트론 구미사업장 반도체용 웨이퍼 생산공정에 공급된다. 이는 국내 기술 기반 초순수가 실제 반도체 제조현장에 투입되는 첫 사례다. 국내 물기업의 현장 실적 확보와 초순수 시장 진입 기반을 마련했다는 의미가 있다. 그간 해외 기술에 의존해 온 초순수 분야 공급망 안정성을 강화하고, 국내 물기업의 기술 경쟁력과 산업 생태계 확대에도 기여할 것으로 기대된다.<br></p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="a41b5ac06e40136ea6c7705844b1b65846bc10f809b620083b0df5b43f730b36" dmcf-pid="G7RfnCvmrC" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="이온 제거·고도화 공정에 투입된 '이온교환수지'. 사진 출처 : 기후에너지환경부" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202605/18/etimesi/20260518120236217arno.jpg" data-org-width="700" dmcf-mid="2dOJDXtWsZ" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img2.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202605/18/etimesi/20260518120236217arno.jpg" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 이온 제거·고도화 공정에 투입된 '이온교환수지'. 사진 출처 : 기후에너지환경부 </figcaption> </figure> <p contents-hash="54214c8163341565a93ffac9f71f9b0acae9a4ea0054a9fd46ea727ea9dd51f0" dmcf-pid="Hs1ypxd8sI" dmcf-ptype="general">기후부는 향후 초순수 생산 전 공정 국산화와 함께 하수 재이용 기반 초순수 생산을 통한 원수 다변화 기술 개발도 추진할 계획이다. 기후위기에 따른 공업용수 부족에 대응하고 안정적인 첨단산업 용수 공급체계를 구축하겠다는 구상이다.</p> <p contents-hash="b5c973ed45eecba9b8489f6174ddf1ad7dbdb42acd65d54595104551dca19875" dmcf-pid="XOtWUMJ6OO" dmcf-ptype="general">김지영 기후부 물이용정책관은 “이번 기술이전은 초순수 기술 국산화를 넘어 실제 산업현장 적용으로 이어진 중요한 성과”라며 “반도체 등 첨단산업의 대규모 투자가 초순수 등 국내 물산업 발전으로 이어질 것”이라고 밝혔다.<br></p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="f076b6219996d1e84f75f97bdd8efdcde9409feaf5aa9f9e0b2976fb0fedecaf" dmcf-pid="ZIFYuRiPms" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="초순수 실증설비 전경. 사진 출처 : 기후에너지환경부" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202605/18/etimesi/20260518120237493dvvq.jpg" data-org-width="635" dmcf-mid="VZQ9dshDrX" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img2.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202605/18/etimesi/20260518120237493dvvq.jpg" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 초순수 실증설비 전경. 사진 출처 : 기후에너지환경부 </figcaption> </figure> <p contents-hash="283a4a34c32f6709dad9053fe3e4c2f8331f384bad94613c01a9cba613933e82" dmcf-pid="5C3G7enQrm" dmcf-ptype="general">이준희 기자 jhlee@etnews.com</p> </section> </div> <p class="" data-translation="true">Copyright © 전자신문. 무단전재 및 재배포 금지.</p> 관련자료 이전 산소 빼고 탄소·질소 채웠더니 김치종균 저장 안정성 '5배 껑충' 05-18 다음 '녹색 지옥 11년 연속 완주' 현대N, 엘란트라 N TCR로 클래스 6연속 우승...2.5T 신엔진 N1 컵카도 첫선 05-18 댓글 0 등록된 댓글이 없습니다. 로그인한 회원만 댓글 등록이 가능합니다.
