[르포]"웨이퍼 오면 24시간 안에 평가"⋯삼성전자 옆 도쿄일렉트론 R&D 팹 가보니 작성일 08-28 40 목록 <div id="layerTranslateNotice" style="display:none;"></div> <strong class="summary_view" data-translation="true">실제 고객 웨이퍼로 증착·식각·계측까지…도쿄일렉트론코리아 TTCK-2 현장<br>일본 본사 대신 화성에서 직접 평가…고객과 거리 좁혀 대응 속도 높인다</strong> <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> <section dmcf-sid="Kjcpa0gRCa"> <p contents-hash="4906ea10332b25600d9dc20c23ffd5e43cac159ae58fb88e45a583201d9aae87" dmcf-pid="9AkUNpaevg" dmcf-ptype="general">[아이뉴스24 황세웅 기자] <strong>"이곳에서는 실제 고객사의 웨이퍼를 가져와 공정 평가를 진행합니다."</strong></p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="41de8826027f97ec89bbc9d5ad1aab71394a8bcd0ca3511c47b98109fc28dac1" dmcf-pid="28PlfhV7Wo" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="도쿄일렉트론코리아 '텔인캠프'에 참가 학생들이 클린룸에서 반도체 장비에 대한 설명을 듣고 있다. [사진=도쿄일렉트론코리아]" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202608/28/inews24/20260828113610408xecv.jpg" data-org-width="630" dmcf-mid="G6mzc7Aihv" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img2.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202608/28/inews24/20260828113610408xecv.jpg" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 도쿄일렉트론코리아 '텔인캠프'에 참가 학생들이 클린룸에서 반도체 장비에 대한 설명을 듣고 있다. [사진=도쿄일렉트론코리아] </figcaption> </figure> <p contents-hash="af3aef9b2779e0ff0a4ccfa23cdbb30fd261f7b2806ef54d922ad31bea1ac623" dmcf-pid="V6QS4lfzyL" dmcf-ptype="general">지난 26일 경기 화성 도쿄일렉트론코리아 연구개발(R&D)센터 'TEL Technology Center Korea-2(TTCK-2)'. 방진복을 입고 장갑과 마스크까지 착용한 뒤 외부 공개가 철저히 제한된 클린룸 안으로 들어섰다.</p> <p contents-hash="b5352163106dcb43c64142fb31f1121f71c4a66d7164a8b96fd4d5ca7442ee32" dmcf-pid="fPxv8S4qSn" dmcf-ptype="general">문을 지나자 공기가 달라졌다. 사람 키를 훌쩍 넘는 반도체 공정·계측 장비들이 클린룸 안에 줄지어 들어서 있었다. 장비마다 실제 반도체 웨이퍼를 다루는 엔지니어들의 손길이 이어졌다.</p> <p contents-hash="6be21bfd70a4b1dfd33a09518b46d5a957e17d58d96cf5b67dea76ff65578aa2" dmcf-pid="4QMT6v8Bli" dmcf-ptype="general">이곳은 단순히 반도체 장비를 전시하거나 기술을 시연하는 공간이 아니다. 실제 고객사의 웨이퍼를 반입해 공정을 진행하고, 장비와 공정 조건을 평가한 뒤 결과를 분석하는 연구 현장이다.</p> <p contents-hash="30d4974308975565600ea876b9b48374ae919e28be8b578aa6ff3468f0280759" dmcf-pid="8xRyPT6bCJ" dmcf-ptype="general">클린룸을 따라 이동하자 반도체 제조 과정의 일부가 눈앞에서 이어졌다. 웨이퍼 위에 막을 쌓고, 필요 없는 부분을 깎아낸 뒤 다시 결과를 측정하는 과정이다.</p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="cd18eb77d0e5483386eb43f9a0b80c6589eca0f91103f469bf6d1197944282ab" dmcf-pid="6MeWQyPKTd" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="'TEL-人 Camp(텔인캠프)'에 참가한 학생들이 엔지니어가 설명하는 반도체 공정에 대해 듣고 있다. [사진=도쿄일렉트론코리아]" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202608/28/inews24/20260828113611856burm.jpg" data-org-width="630" dmcf-mid="XJFiHJGhyl" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img3.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202608/28/inews24/20260828113611856burm.jpg" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 'TEL-人 Camp(텔인캠프)'에 참가한 학생들이 엔지니어가 설명하는 반도체 공정에 대해 듣고 있다. [사진=도쿄일렉트론코리아] </figcaption> </figure> <p contents-hash="8635d49fe1d6628d987ca09fc3df64b5b08a35349fb6c663b35c4ead60022624" dmcf-pid="PRdYxWQ9ye" dmcf-ptype="general">먼저 마주한 것은 '증착(TFF)' 장비였다. 증착은 웨이퍼 위에 원하는 물질을 아주 얇고 균일하게 쌓는 공정이다.</p> <p contents-hash="76e84428500fed7d64bf213e4abaad90a832a8751abc41d1cd93d90842de02d8" dmcf-pid="QeJGMYx2SR" dmcf-ptype="general">증착은 웨이퍼 위에 원하는 물질을 얇고 균일하게 쌓는 공정이다. 반도체 소자의 구조와 전기적 특성을 구현하기 위해서는 막의 두께와 조성, 균일도를 정밀하게 제어해야 한다.</p> <p contents-hash="0270f29d3c65bfbf441f9a297e94167e532284053e7786799553b1bff38010e4" dmcf-pid="xdiHRGMVvM" dmcf-ptype="general">장비 앞에 선 담당 엔지니어는 공정 결과에 따라 미세한 조건 차이도 반도체 성능으로 이어질 수 있다고 설명했다.</p> <p contents-hash="c4494752ef77c53e7fb3754460234a1984b96dc72f1ffeafc55959c30a60924c" dmcf-pid="yHZdYeWIlx" dmcf-ptype="general">몇 걸음을 옮기자 이번에는 '식각(ES)' 장비가 나타났다. 앞서 형성한 물질 가운데 회로 구현에 필요하지 않은 부분을 깎아내는 역할을 한다.</p> <p contents-hash="2e49719cbd486af4d59f0bca7260a9a357ba1eb0818305bc45d6a0b268757148" dmcf-pid="WmOKwbDgyQ" dmcf-ptype="general">하나의 장비에서 막을 '쌓고', 다음 장비에서는 필요한 부분만 남도록 '깎는' 과정이 이어지자 이론으로 배웠던 공정이 실제 장비를 통해 하나의 흐름으로 연결됐다.</p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="dd59e4f7689908667f23af08ace92dbf3d0573a74570683cb26f007123ec66d5" dmcf-pid="YsI9rKwahP" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="진경환 도쿄일렉트론코리아 TTCK 개발기획총괄이 '텔인 캠프'에 참가한 학생들에게 회사에 대해 설명하고 있다. [사진=황세웅 기자]" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202608/28/inews24/20260828113613171jtgd.jpg" data-org-width="630" dmcf-mid="qyAFLtnQyA" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img2.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202608/28/inews24/20260828113613171jtgd.jpg" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 진경환 도쿄일렉트론코리아 TTCK 개발기획총괄이 '텔인 캠프'에 참가한 학생들에게 회사에 대해 설명하고 있다. [사진=황세웅 기자] </figcaption> </figure> <p contents-hash="d73dfbe30ebdff9c282aed372a6218395251a2f8194e6517975cc16432767087" dmcf-pid="GOC2m9rNl6" dmcf-ptype="general">마지막은 '계측·검사(MI)' 장비가 자리하고 있었다. 시선은 선폭 측정 주사전자현미경(CD-SEM) 화면에 모였다. 주사전자현미경은 육안으로는 볼 수 없는 미세 회로 패턴을 확대해 선폭 등을 측정하는 장비다.</p> <p contents-hash="95b2910d615fd843c2d4be6348bbe591dfdb29130c8f39c0b975175da9e0da2e" dmcf-pid="HIhVs2mjy8" dmcf-ptype="general">담당 엔지니어는 "패턴이 목표한 형태와 크기로 구현됐는지를 확인하고, 측정 결과를 다시 공정 조건에 반영한다"고 설명했다.</p> <p contents-hash="d684258cfc47374966e3c6322455d1e6655217b0c248151f84ca1ab0cc4fc588" dmcf-pid="XClfOVsAC4" dmcf-ptype="general">클린룸 안에서는 이처럼 하나의 과정이 끝나면 다시 다음 과정으로 이어졌다. 웨이퍼에 막을 쌓고, 불필요한 부분을 깎아내고, 결과를 다시 측정한다.</p> <p contents-hash="8adbbeb7196575e1d55319c532edb391e24613f67b016827c1009681aa4b1682" dmcf-pid="ZhS4IfOcTf" dmcf-ptype="general">반도체 전체 제조공정을 보는 것은 아니었지만 실제 고객 웨이퍼를 대상으로 첨단 공정이 어떻게 평가되고 검증되는지를 눈앞에서 확인할 수 있었다.</p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="86333559f00f11f1108799532b3e25e7f4db919ad7656f39efebf51a1612d5fd" dmcf-pid="5lv8C4IkSV" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="도쿄일렉트론코리아 '텔인 캠프'에 참가한 대학생들이 엔지니어가 직접 설명해 주는 채용팁에 대해 듣고 있다. [사진=황세웅 기자]" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202608/28/inews24/20260828113614557uhwu.jpg" data-org-width="630" dmcf-mid="B2hVs2mjWj" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img2.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202608/28/inews24/20260828113614557uhwu.jpg" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 도쿄일렉트론코리아 '텔인 캠프'에 참가한 대학생들이 엔지니어가 직접 설명해 주는 채용팁에 대해 듣고 있다. [사진=황세웅 기자] </figcaption> </figure> <p contents-hash="7315d33ae58f4f2269b86f690a0e9e8d092fe46090bb4d4ca82d9e166ddff021" dmcf-pid="1ST6h8CEl2" dmcf-ptype="general">한편, 'TTCK-2'는 2024년 10월 준공된 도쿄일렉트론코리아의 국내 세 번째 R&D 거점이다. 고객사의 평가용 웨이퍼를 반입해 공정을 진행하고 장비 성능과 결과를 분석하는 역할을 한다.</p> <p contents-hash="1d274e5c96f584ab04590f81f9f97dbb2c75f6c0c2a0b98bef371a41bc9f7630" dmcf-pid="tvyPl6hDy9" dmcf-ptype="general">강점은 고객과의 거리다. 회사 측은 TTCK-2의 특징 가운데 하나로 삼성전자를 위한 전용 연구 팹(Fab)을 꼽았다. 연구동에서 바라보면 인근 삼성전자 반도체 공장이 눈에 들어올 정도로 물리적 거리가 가까웠다.</p> <p contents-hash="9329c1e46692c9a7a29850a2223b77d7cb4cfe8d7f6764f219016cc3dde8edb1" dmcf-pid="FTWQSPlwSK" dmcf-ptype="general">국내 고객사와 가까운 곳에서 평가할 수 있어 일본 본사 연구소로 웨이퍼를 보내는 것보다 대응 시간이 짧다.</p> <p contents-hash="9e4c8e467c1531b0858faaab7ec0587e365af35ace245afef6dcc7acda90dae3" dmcf-pid="3yYxvQSryb" dmcf-ptype="general">도쿄일렉트론코리아에 따르면 고객사의 평가용 웨이퍼가 들어온 뒤 빠르면 24시간 안에 공정 평가를 진행할 수 있다. 평가가 끝난 뒤에는 내부 계측 장비로 결과를 분석해 고객사에 제공한다.</p> <p contents-hash="27965b1fb75f8d5027a479de195512eca4496f762bf39860ada5795a43ec45b8" dmcf-pid="0BKwzD71vB" dmcf-ptype="general">고객사 엔지니어가 직접 TTCK-2를 방문해 평가 계획 수립부터 공정 진행, 결과 분석까지 도쿄일렉트론코리아 엔지니어와 함께 수행하기도 한다.</p> <p contents-hash="d1333a8b060a5955403a40dde8ae61e9ae43f116dc97fda6f45d59da91870cc4" dmcf-pid="pb9rqwztyq" dmcf-ptype="general">구체적인 공정 노드나 낸드 적층 단수는 공개하지 않았지만 회사 측은 이곳에서 고객사의 첨단 D램과 낸드플래시, 파운드리 공정을 모두 지원하고 있다고 설명했다.</p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="4507cbefaecf56d2d058a8cf2e70c3b455ab2bdef33767317e61be9777d6fe6d" dmcf-pid="UK2mBrqFSz" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="직무 멘토링에 참여한 학생들이 도쿄일렉트론코리아 엔지니어의 직무 설명을 듣고 있다. [사진=도쿄일렉트론코리아]" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202608/28/inews24/20260828113615934atxx.jpg" data-org-width="630" dmcf-mid="b8QS4lfzvN" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img3.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202608/28/inews24/20260828113615934atxx.jpg" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 직무 멘토링에 참여한 학생들이 도쿄일렉트론코리아 엔지니어의 직무 설명을 듣고 있다. [사진=도쿄일렉트론코리아] </figcaption> </figure> <p contents-hash="fffcb0c8ef93d521ff212e5fb1cc7d06a954b6810e611611b0aa95abdacd651b" dmcf-pid="u9VsbmB3v7" dmcf-ptype="general">이날 클린룸 방문은 도쿄일렉트론코리아가 산학협력 대학 이공계 학생을 대상으로 진행한 'TEL-人 Camp(텔인캠프)' 첫날 일정으로 마련됐다.</p> <p contents-hash="a7194254a85642ffe3a8d44e49e01d42b071f0de3a1a0c2ae47dbaca1986d95f" dmcf-pid="72fOKsb0yu" dmcf-ptype="general">가천대·경희대·단국대·명지대·성균관대·아주대·인하대·한양대 등 8개 대학 학생들은 전공책과 영상으로 익힌 공정을 실제 장비와 웨이퍼를 통해 확인했다.</p> <p contents-hash="b77e45c480ccff7af7b3b79c13c4e3a704b4c08600bdc145349ec050b3e3e9ee" dmcf-pid="zV4I9OKpCU" dmcf-ptype="general">클린룸 밖에서는 '증착·식각·계측'이라는 세 개의 공정명이었지만 안에서는 달랐다. 웨이퍼를 가공하고, 결과를 측정하고, 다시 공정 조건에 반영하는 연구개발의 흐름이 장비 사이에서 이어지고 있었다.</p> <address contents-hash="363aa381423207897d4f7b601bd76130f9a557919bc0777b9520d5031d585cfa" dmcf-pid="qf8C2I9UCp" dmcf-ptype="general">/황세웅 기자<a href="mailto:hseewoong89@inews24.com" target="_blank">(hseewoong89@inews24.com)</a> </address> </section> </div> <p class="" data-translation="true">Copyright © 아이뉴스24. 무단전재 및 재배포 금지.</p> 관련자료 이전 섬마을 로스터리 10곳의 맛과 멋, '와디즈' 타고 전국에 퍼지다 08-28 다음 정부 AI 사업은 왜 '선발전'이 됐나…이번엔 '모두의 AI' 08-28 댓글 0 등록된 댓글이 없습니다. 로그인한 회원만 댓글 등록이 가능합니다.
