[르포] "삼성전자 밀착 지원"…TEL의 핵심 R&D 거점, TTCK-2 센터를 가다 작성일 08-28 37 목록 <div id="layerTranslateNotice" style="display:none;"></div> <strong class="summary_view" data-translation="true">첨단 식각·증착장비로 고객 웨이퍼 평가…24시간 내에도 가능</strong> <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> <section dmcf-sid="bbPzGnXSjA"> <p contents-hash="3daf525091e3d223b3982e187e55c09041d7ec54569b30e7208ba3be9c77ed62" dmcf-pid="KKQqHLZvjj" dmcf-ptype="general">(지디넷코리아=장경윤 기자)<span>경기 화성에 위치한 도쿄일렉트론(TEL)코리아의 연구개발(R&D) 센터 'TEL 테크놀로지 센터 코리아(TTCK-2)'. 지난 26일 방문한 센터 내 클린룸에는 수십대의 첨단 장비들이 들어서 있었다. 웨이퍼가 분주히 평가 중인 </span><span>모습은 </span><span>실제 양산 팹을 방불케 했다.</span></p> <p contents-hash="ba6962372827728ac056bbe99bda722d9a7aae5c8a76a731e774b0e85d7cec7e" dmcf-pid="99xBXo5TcN" dmcf-ptype="general">TTCK-2는 TEL코리아의 세 번째 국내 R&D 센터다. 지난 2024년 10월 준공했다. 연면적 3만 9200제곱미터(㎡) 규모로, 지하 2층~지상 8층 건물로 조성됐다.</p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="a89498ea7ea157200576f0239887b5518a19f29562b12f7433f5babc52753445" dmcf-pid="22MbZg1yNa" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="도쿄일렉트론코리아 ‘텔인캠프’에 참가 학생들이 클린룸에서 반도체 장비에 대한 설명을 듣고 있다(사진=도쿄일렉트론코리아" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202608/28/ZDNetKorea/20260828090150703ccwq.jpg" data-org-width="640" dmcf-mid="YDn40kUZjW" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img3.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202608/28/ZDNetKorea/20260828090150703ccwq.jpg" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 도쿄일렉트론코리아 ‘텔인캠프’에 참가 학생들이 클린룸에서 반도체 장비에 대한 설명을 듣고 있다(사진=도쿄일렉트론코리아 </figcaption> </figure> <p contents-hash="c40656de47f04e6a71f5b897072c08309bc007d2a6264995029d7a404fbdc576" dmcf-pid="VVRK5atWAg" dmcf-ptype="general"><strong>삼성전자에 맞춤형 R&D 지원…"고객사 웨이퍼 평가, 24시간 내 가능"</strong></p> <p contents-hash="00e869bbd9a64d2dad6466890d2c741d639c41b19ff8f1aae682ff4f79daf40a" dmcf-pid="ffe91NFYco" dmcf-ptype="general"><span>TTCK-2의 가장 큰 특징은 '고객 대응형' R&D에 초점을 맞춘 </span><span>점이다. 고객사로부터 웨이퍼를 반입하고, 이를 기반으로 공정 기술을 개발하고 있다. 식각·증착·세정 등 여러 공정 모듈화, 부품 평가 등을 폭넓게 수행한다.</span></p> <p contents-hash="596737fa07873404e6397850877bb89762bc8ad9e05689c21b8daa8f46a42382" dmcf-pid="44d2tj3GaL" dmcf-ptype="general">진경환 TTCK-2 센터장은 "TTCK-2는 국내 주요 고객 중 하나인 삼성전자 전용 연구개발 팹으로, 고객과 가까워 24시간 이내에 고객 웨이퍼를 평가할 수 있다는 장점이 있다"며 "실시간 피드백도 가능하고, 고객사가 직접 TTCK-2에 방문해 모든 평가 과정을 공동으로 수행할 수 있다"고 설명했다.</p> <p contents-hash="c797e6cb5770d2b606e775b23d418e685020b3b6a41d2aa05327c107bf6cd6b8" dmcf-pid="88JVFA0HAn" dmcf-ptype="general">TTCK-2 5층 클린룸에선 실제 공정별 평가 장비가 시연되고 있었다. 입실 전 방진복을 착용하고, 공기세정(에어 샤워)을 하는 등 절차를 거쳤다. 초미세 회로를 다루는 반도체 클린룸은 작은 먼지 한 톨로도 큰 결함이 발생할 수 있어, 철저한 관리가 필요하다.</p> <p contents-hash="4415e47dd79fb0b2f665a1c52a8786d6fc1857af32fedb42394335bc8ca28d2c" dmcf-pid="66if3cpXki" dmcf-ptype="general"><strong>고성능 식각·증착·계측 장비 보유…고객 첨단 공정 모두 지원</strong></p> <p contents-hash="4582dfeb9c44d195a42799b8423ed2ea68b34e4d3b9ab36082f3eeabada5dda6" dmcf-pid="PPn40kUZaJ" dmcf-ptype="general"><span>600평에 </span><span>달하는 </span><span>클린룸 </span><span>내부는 </span><span>크게 </span><span>3개의 </span><span>공간으로 나뉜다</span><span>. </span><span>TEL의 </span><span>핵심 </span><span>사업인 </span><span>식각 및</span><span> </span><span>증착 </span><span>설비들이 </span><span>좌우측에 </span><span>위치해 </span><span>있고, </span><span>가운데는 </span><span>공정 </span><span>결과를 </span><span>확인할 </span><span>수 </span><span>있는 </span><span>계측실로 </span><span>조성했다.</span></p> <p contents-hash="e01c3cfd953364227fcdca50f697ab9b327dced31421c189f54c38d3aa82eacc" dmcf-pid="QQL8pEu5kd" dmcf-ptype="general">각 설비를 통해, TTCK-2 센터에서 반도체 웨이퍼가 투입되고 여러 공정 평가를 받는 과정을 실시간 확인할 수 있었다. 이후 배출된 웨이퍼를 CD-SEM으로 실제 계측하는 과정도 있다. SD-SEM은 주사전자현미경으로, 웨이퍼 상 회로 패턴 선폭(임계치수)이 설계대로 구현됐는지 확인하는 데 사용된다. </p> <p contents-hash="51d6084b67fcccb1d8a8ca0d78793b628d9dd03a835692a91d49c42dfd4b2ce7" dmcf-pid="xarLfv8Bge" dmcf-ptype="general">진 센터장은 "구체적으로 말씀드리기 어렵지만, 고객의 첨단 D램과 낸드, 파운드리 공정을 모두 지원할 수 있다"고 말했다. </p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="567f702c1dc381d7815d3842fd1fca0cecd2b32dea437eb85a058dc521be623c" dmcf-pid="y3b1CPlwjR" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="도쿄일렉트론코리아 ‘텔인캠프’에 참가 학생들이 클린룸에서 반도체 장비에 대한 설명을 듣고 있다(사진=도쿄일렉트론코리아" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202608/28/ZDNetKorea/20260828090152096wpcy.jpg" data-org-width="638" dmcf-mid="B6KthQSrjc" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img3.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202608/28/ZDNetKorea/20260828090152096wpcy.jpg" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 도쿄일렉트론코리아 ‘텔인캠프’에 참가 학생들이 클린룸에서 반도체 장비에 대한 설명을 듣고 있다(사진=도쿄일렉트론코리아 </figcaption> </figure> <p contents-hash="bc86612df08d61b093a85eb3ad9f2b81f2f13ee22c12fc6f4a07ac3bd7f74567" dmcf-pid="W0KthQSraM" dmcf-ptype="general"><strong>한국산 부품 75% 활용해 차세대 장비 개발도</strong></p> <p contents-hash="da7b66ee1e11434fe947a410cc3def6bab20a28680a328a3a624f9c46922e6ff" dmcf-pid="Yp9Flxvmjx" dmcf-ptype="general"><span>이후 찾아간 TTCK-2 8층에는 TEL의 주요 특허 및 </span><span>기술을 </span><span>확인할 </span><span>수 </span><span>있는 </span><span>자료들이 </span><span>전시돼 </span><span>있었다. </span><span>가장 이목을 끄는 건 차세대 장비 개발</span><span> 현황이었다. 현재 TEL코리아에서는 본사인 TEL과는 별도로, 차세대 플라즈마 식각 장비 등을 개발하고 있다. </span></p> <p contents-hash="6d63cfb9057fe0895d14686503ece095f4155a4e4266d8ee968bb9429e2ea6ab" dmcf-pid="GU23SMTsjQ" dmcf-ptype="general"><span>진 </span><span>센터장은 "현재 TEL코리아 엔지니어들은 한국산 부품을 75%가량 활용한 반도체 장비를 개발하고 있다"며 "원제형 TEL코리아 </span>대표이사 회장 등 주요 임원진들이 출원한 특허가 기반이 되고 있다"고 설명했다. </p> <p contents-hash="cc6e2ce6c9fec2109ff5f0d11749af1dec4046127d7f717176fcd6d2cad3add3" dmcf-pid="HuV0vRyOAP" dmcf-ptype="general"><span>TTCK-2 투어에는 대학 8곳이 추천한 이공계 대학생 40명도 함께 참석했다. 미래 반도체 엔지니어를 꿈꾸는 이들은 식각</span>·<span>증착 공정에 쓰이는 가스는 무엇인지, 자동화는 얼마나 이뤄졌는지 </span><span>등 </span><span>질문을 쏟아냈다. TEL은 산학협력 대학생을 대상으로 회사 소개부터 센터 참관, 현직 엔지니어 멘토링 등을 진행하는 반도체 인재 양성 프로그램 'TEL-인 캠프(텔인캠프)'를 운영하고 있다. </span></p> <p contents-hash="1bdd2557e1295edcfaed4e365d9d292f646ecf31867c407ca005edc06da2ff72" dmcf-pid="X7fpTeWIa6" dmcf-ptype="general">장경윤 기자(jkyoon@zdnet.co.kr)</p> </section> </div> <p class="" data-translation="true">Copyright © 지디넷코리아. 무단전재 및 재배포 금지.</p> 관련자료 이전 이스트시큐리티, 알약 리눅스 서버용에 '행위 기반 랜섬웨어 탐지' 탑재 08-28 다음 네이버, 세계 비전 AI 학회서 논문 23편 채택…공간지능 성과 08-28 댓글 0 등록된 댓글이 없습니다. 로그인한 회원만 댓글 등록이 가능합니다.
