에스엠, 반도체 가스 누출 0.5초내 감지…"삼디 라인에 적용 준비" 작성일 06-18 37 목록 <div id="layerTranslateNotice" style="display:none;"></div> <strong class="summary_view" data-translation="true">창업 20돌…"가스·전기 새는 곳에 집중…내년 코스닥 상장할 것"</strong> <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> <section dmcf-sid="7mw6X44qkk"> <p contents-hash="0ff6df422f481f9c34835e6b285281dbe6a552116b5d72869b9ecc1f95f59ce6" dmcf-pid="zsrPZ88Bjc" dmcf-ptype="general">(지디넷코리아=박희범 기자)<span>초음파 센서로 단 0.5초만에 반도체 가스 누출을 감지하는 시스템을 삼성디스플레이(삼디)에 납품하고, 현재 반도체 라인 적용을 준비중이다."</span></p> <p contents-hash="4c22d3dfc1fa39e6d9e6040375843d864f2af6d3cadbedec5b85e42b3280108a" dmcf-pid="qOmQ566bjA" dmcf-ptype="general">올해로 창업 20년을 맞은 김영기 에스엠인스트루먼트(에스엠) 대표는 18일 가진 '비전선포 및 기자간담회'에서 "가스와 전기새는 소리 분야에 집중하고 있다. 최근엔 신제품 '배트캠-씨엑스(BATCAM CX)'로 글로벌 반도체 가스 캐비닛 시장을 공략 중"이라며 이같이 말했다.</p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="9302ff70ef62a71ef309b6deac1f9c8adad55373c67115bcef9dedd66d98f72c" dmcf-pid="BP8XjGGhNj" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="김영기 에스엠인스트루먼트 대표가 반도체 가스 가스 캐비닛용 초음파 누출 감지 솔루션 '배트캠-씨엑스'를 소개 중이다.(사진=지디넷코리아)" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202606/18/ZDNetKorea/20260618180153484bqco.jpg" data-org-width="639" dmcf-mid="pdFw8EEoow" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img2.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202606/18/ZDNetKorea/20260618180153484bqco.jpg" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 김영기 에스엠인스트루먼트 대표가 반도체 가스 가스 캐비닛용 초음파 누출 감지 솔루션 '배트캠-씨엑스'를 소개 중이다.(사진=지디넷코리아) </figcaption> </figure> <p contents-hash="b2524c6417e0e051b9cafb3648c4d95d203159dca6621ac138a496a16b975e54" dmcf-pid="bQ6ZAHHloN" dmcf-ptype="general">배트캠-씨엑스 모델은 반도체 가스 캐비닛용 초음파 누출감지 솔루션이다. 방폭형 모델로 '배트캠-이씨엑스'(BATCAM eCX)도 함께 출시했다. 방폭은 가연성 가스 등 폭발 위험이 있는 장소나 설비를 막는다는 말이다.</p> <p contents-hash="fa4d79baeb674ad777a45ff8c7823eec98e3c86f52c4c2d9dd49c207c2f15faa" dmcf-pid="KxP5cXXSoa" dmcf-ptype="general">김 대표는 "그동안 실증 단계에 머물던 초음파 기반 가스누출 감지 기술을 실제 반도체 양상 라인에 즉시 투입 가능한 수준으로 제품화한 것은 에스엠이 업계 최초"라고 말했다.</p> <p contents-hash="a310b8ea6b395d7321f8322c909ad28e344af55256e16b65c9b91e34fc1479b1" dmcf-pid="9MQ1kZZvog" dmcf-ptype="general">에스엠은 원천기술로 오로라(AURORA) 플랫폼을 개발, 보유하고 있다.</p> <p contents-hash="5822ed4590b7c4e282a4922d6a762fe4b1edb7aeb2daf2577d44c596dc9e201b" dmcf-pid="2RxtE55TNo" dmcf-ptype="general">오로라는 산업 현장에서 발생하는 다양한 신호를 통합적으로 분석하는 멀티모달 AI 엔진이다. 음향과 영상 데이터를 결합해 기존에는 감지하기 어려웠던 이상 징후를 정밀하게 식별한다.</p> <p contents-hash="970dfeecba163c6a99bc93e78422702ea2951f2da1c6d63b4446e126582f7b38" dmcf-pid="VeMFD11yoL" dmcf-ptype="general">특히 복잡하고 노이즈가 많은 환경에서도 핵심 이상 신호를 선별적으로 추출하고, 설비 상태와 잠재적 문제를 실시간으로 분석한다.</p> <p contents-hash="ad7aef374a912044f48ca487079c01afc14cd37b6e2a6e676daceeb6e8b45e16" dmcf-pid="fdR3wttWjn" dmcf-ptype="general">김 대표는 "오로라는 단순 이상 감지를 넘어 다양한 산업 영역으로 확장되는 지능형 플랫폼으로 진화하고 있다"고 말했다.</p> <p contents-hash="5c910a6b48dc3de5ec88f5ef3fcf992b3da9480464c2b4c2901795e9161389dc" dmcf-pid="4Je0rFFYoi" dmcf-ptype="general">이번에 출시한 '배트캠 씨엑스'도 오로라를 기반으로 그동안 반도체 가스 누출 감지에 수분 이상 걸리던 것을 0.5초 이내로 감지할 수 있는 것이 특징이다.</p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="f18aada6e0fb85d903633742c253ce29911aae32bde0a3204af03387c10cee2e" dmcf-pid="8idpm33GgJ" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="에스엠인스트루먼트가 창립 20돌을 맞아 18일 개최한 '산업지능포럼'에서 '배트캠-3.0'(제품 가운데)'성능을 시연했다. 커텐 뒤에서 스프레이를 살짝 뿌려도 '배트캠'이 정확히 탐지했다." class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202606/18/ZDNetKorea/20260618180154745dgsm.jpg" data-org-width="639" dmcf-mid="u2bvillwgE" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img2.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202606/18/ZDNetKorea/20260618180154745dgsm.jpg" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 에스엠인스트루먼트가 창립 20돌을 맞아 18일 개최한 '산업지능포럼'에서 '배트캠-3.0'(제품 가운데)'성능을 시연했다. 커텐 뒤에서 스프레이를 살짝 뿌려도 '배트캠'이 정확히 탐지했다. </figcaption> </figure> <p contents-hash="613a24a34276b4e63858841de33a6a3ebedeb98c30dd1b0577d8fe4dff444494" dmcf-pid="6nJUs00Hkd" dmcf-ptype="general">반도체 공정은 수소, 실란, 암모니아 등 위험한 독성 및 가연성 가스로 구성돼 있어, 초동 대처가 중요하다. 그러나 기존의 농도기반 가스센서는 누출된 가스를 센서로 탐지할 때까지 짧게는 수십초에서 길게는 수분까지 걸리는 단점이 있었다.</p> <p contents-hash="2c295f4838304eb5d16cbe572aac46e08ad4eda0df61add35c8ad760786b0581" dmcf-pid="PLiuOppXae" dmcf-ptype="general">'배트캠 씨엑스'는 가스가 새어 나올 때 발생하는 미세한 초음파를 최대 200m까지 떨어져 있어서 0.5초 이내에 잡아낼 수 있다. 실제 이날 5층에 마련된 포럼 장 시연에서 10m 정도 떨어져 뿌린 미세한 스프레이 소리를 즉각 검출했다.</p> <p contents-hash="7b347a77301998971de84bb94c754240646b47069e231bf8c7955b04164d6902" dmcf-pid="Qon7IUUZaR" dmcf-ptype="general">김영기 대표는 "SK실트론 등에서도 실증을 진행 중"이라며 "삼성전자와 SK하이닉스 반도체 공정에만 수요가 8만대 정도, 시장 규모는 3,000억~5,000억 원 대 시장이 열릴 것으로 예상한다"고 말했다.</p> <p contents-hash="ac512a6df2cf931f6a2d855208119b4c431dacc26aa9bb47ae585e39592fa8ef" dmcf-pid="xgLzCuu5cM" dmcf-ptype="general">에스엠은 올해 매출 130억 원을 예상했다. 글로벌 시장 점유율이 35% 정도된다는 것이 김 대표 설명이다.</p> <p contents-hash="ccdd9db27119dfb16a253a1fe7c5b832ce887a25f472c18c7d11981e32157be8" dmcf-pid="yF1EfccnAx" dmcf-ptype="general">에스엠은 지난 2006년 KAIST 창업보육센터에 처음 둥지를 틀었다. 김 대표가 LG전자를 다니다, 한국항공우주연구원으로 자리를 옮겨 위성 개발 부문에서 음향을 담당하다 소리 매력에 빠져 창업한 케이스. 소음·진동 전문가인 박용화 KAIST 기계공학과 교수 지원을 받았다.</p> <p contents-hash="bd97b49a146b0ae1560cedc607dccee1a8bafa7e211bf8aa5dbfae281ab038c7" dmcf-pid="W3tD4kkLcQ" dmcf-ptype="general">미국 뉴어크 공항에는 항공사 유나이티드에 항공기보조동력장치(APU) 모니터링 시스템 5대를 공급했다. 이는 항공기가 대기중 불필요한 시동으로 매년 수백 억원씩 연료가 낭비되는 요인을 막을 수있다.</p> <p contents-hash="57083f07cb8203797112170e92e808abc4f12eb1eeb0642cc95a2ed78c33252a" dmcf-pid="Ymw6X44qaP" dmcf-ptype="general">또 에스엠은 대전 유성구 갑동에 지능형 교통소음 단속 시스템을 실증 중이다. 오토바이 소음을 진단, 정확한 위치를 실시간 제공한다.</p> <p contents-hash="6a8c813ad0c80f5d291ba07284ab2e268b8ef5c8a275f9275af6f4219823d0d8" dmcf-pid="GsrPZ88Ba6" dmcf-ptype="general">이외에 플루크는 미국에 위치한 계측기 다국적 브랜드로, 에스엠 인수를 제안하기도 했다.</p> <p contents-hash="ce567461ffbaf6e19c871036d16d094e495162ea271609df45f9fdd1ab1f4315" dmcf-pid="HOmQ566bo8" dmcf-ptype="general">김영기 대표는 "올해가 20주년, 전환점이다. 비전도 '산업지능'으로 정했다. 코스닥 상장할 때도 됐다. 내년 상장을 목표로 주간사도 선정했다"며 "향후 세계시장을 장악한 글로벌 기업 플루크와 본격적으로 경쟁해 나갈 것"이라고 덧붙였다.</p> <p contents-hash="2a53016758ae8877811e0697e73d5d2686389ec2ee4099b657ff4575b0eefad7" dmcf-pid="XIsx1PPKA4" dmcf-ptype="general">박희범 기자(hbpark@zdnet.co.kr)</p> </section> </div> <p class="" data-translation="true">Copyright © 지디넷코리아. 무단전재 및 재배포 금지.</p> 관련자료 이전 "늘리고 묶어도 안정적으로 작동한다" 차세대 압전 섬유 센서 개발 06-18 다음 KT "부울경 지역 기업 AX 돕겠다...보안·비용절감 자신" 06-18 댓글 0 등록된 댓글이 없습니다. 로그인한 회원만 댓글 등록이 가능합니다.
