비씨엔씨, 램리서치 디자인 2건 무효화 실패 작성일 06-14 73 목록 <div id="layerTranslateNotice" style="display:none;"></div> <strong class="summary_view" data-translation="true">특허심판원 최근 심결...특허도 분쟁 중</strong> <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> <section dmcf-sid="ziE0JiiPki"> <p contents-hash="c64c8b06dd5ef8a01ed925829abdb2420975009852aceeafba1c5370b5fc5ae9" dmcf-pid="qnDpinnQNJ" dmcf-ptype="general">(지디넷코리아=이기종 기자)<span>램리서치와 반도체 공정용 에지 링 특허</span>·<span>디자인 등 산업재산권 분쟁 중인 비씨엔씨가 램리서치 디자인 2건 무효화에 실패했다. 비씨엔씨는 램리서치 특허 3건을 상대로 청구한 무효심판 3건 중 2건은 무효, </span><span>1건은 유효라는 판단을 받은 상태다. </span></p> <p contents-hash="e3678485082e1652c62df97cbac912b477ae2189d2f5bab1588006b6c53fae9f" dmcf-pid="BfJyVffzAd" dmcf-ptype="general"><span>링은 </span><span>반도체 공정 식각장비 내부에 장착하는 실리콘 부품이다. 식각장비 내부에서 생성된 플라스마가 웨이퍼 바깥으로 퍼지지 않도록 물리적으로 가두는 역할을 </span><span>한다. </span><span>링은 주로 내플라즈마·내열성이 우수한 쿼츠 재질을 사용한다.</span></p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="cbbf717d87ad600f9a9ebf1defe458f39041b7217eefc3391c987066e7e4690c" dmcf-pid="b4iWf44qNe" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="(사진=비씨엔씨)" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202606/14/ZDNetKorea/20260614001737983wcwg.png" data-org-width="509" dmcf-mid="YzSUWYYCjm" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img4.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202606/14/ZDNetKorea/20260614001737983wcwg.png" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> (사진=비씨엔씨) </figcaption> </figure> <p contents-hash="44e375afa3605efd260e436668415e6e4cfdec42438084cecb102ddfa3dcbdeb" dmcf-pid="K8nY488BoR" dmcf-ptype="general"><span>14일 업계에 따르면 특허심판원은 지난 5월 하순 램리서치의 디자인 '반도체 제조장치용 에지 링'(등록번호 1026248, 1026250) 2건은 </span><span>유효하다고 판단(심결)했다. 비씨엔씨가 지난 2024년 11월 해당 디자인 2건이 무효라며 무효심판을 청구했는데, 특허심판원이 기각했다. </span><span>비씨엔씨가 특허심판원 심결에 불복할 경우 특허법원에 항소(심결취소소송)할 수 있다. </span></p> <p contents-hash="c493c436db4d358bb1cd9f6b968ce48062fc47115646f0cd76d7344547ac1058" dmcf-pid="96LG866baM" dmcf-ptype="general"><span>비씨엔씨는 램리서치와 서울중앙지방법원에서 디자인침해소송도 진행 중이다. 원고는 램리서치, 피고는 비씨엔씨다.</span></p> <p contents-hash="17aa3559ec16a14915940cd5958f932ac89137cf229d81c7b5b678fdaeee07a0" dmcf-pid="2PoH6PPKcx" dmcf-ptype="general"><span>눈여겨볼 것은 비씨엔씨가 램리서치와 벌이고 있는 특허분쟁이다. 비씨엔씨는 램리서치 디자인 2건을 상대로 무효심판을 청구한 지난 2024년 11월, 램리서치의 특허 2건 '하단 링 및 중간 에지 링'(등록번호 2182298, 2254224)에 대해서도 무효심판을 청구했다. 당시 청구한 무효심판 2건에 대해선 특허심판원이 지난해 9~10월 무효라고 심결했다. 이 심결에 대해선 램리서치가 특허법원에 심결취소소송을 제기했다. </span></p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="83316f0e37e6cf3051dfa8019c014deabab63d483fb973796f143d1b29f1d5b1" dmcf-pid="VQgXPQQ9jQ" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202606/14/ZDNetKorea/20260614001739255ijno.png" data-org-width="639" dmcf-mid="GxbiVffzcr" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img3.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202606/14/ZDNetKorea/20260614001739255ijno.png" width="658"></p> </figure> <p contents-hash="3bbefa628244d0078166992559fbca0890cb7abd132898c3c14aec64d8054dc2" dmcf-pid="fxaZQxx2jP" dmcf-ptype="general"><span>비씨엔씨가 2025년 4월 무효심판을 청구한 램리서치의 또 다른 특허 '기판 프로세싱 시스템을 위한 감소된 커패시턴스 변화를 갖는 이동식 에지 링들'(등록번호 2646633)에 대해 특허심판원은 2025년 10월 유효하다고 심결했다. 이에 대해선 비씨엔씨가 2025년 12월 특허법원에 항소했다. </span></p> <p contents-hash="39e198e4a486e8b7bd3b482cec5e6c6682b3cbec7a1394ec02f19cbf885c9871" dmcf-pid="4MN5xMMVA6" dmcf-ptype="general">두 업체가 분쟁 중인 <span>램리서치의 </span><span>쟁점 </span><span>특허와 </span><span>디자인 가운데</span><span>, 특허가 최종 무효가 되더라도 디자인이 유효라는 최종 판결, 그리고 </span><span>비씨엔씨가 해당 디자인을 침해했다는 판결이 나오면 </span><span>비씨엔씨는 제품을 다시 설계해야 할 가능성도 있다. </span></p> <p contents-hash="1c80ff16d16dedf0bcc8b4093f508c9e29751b9f812cec888a98f84919f16048" dmcf-pid="8Rj1MRRfc8" dmcf-ptype="general"><span>세계 식각장비 1위 램리서치는 삼성전자와 SK하이닉스 등에 반도체 공정 부품을 공급하는 국내 애프터마켓 업체를 상대로 산업재산권 분쟁 중이다. 비씨엔씨 외에 CMTX(씨엠티엑스), SHM, 플라텍, 윌비에스엔티, 월덱스 등이 램리서치와 싸우고 있다. </span></p> <p contents-hash="0c7c659b9a53c979a8d7921127f29635cf25fafb563e7f71925a6d2cfeeae552" dmcf-pid="6eAtRee4N4" dmcf-ptype="general"><span>지난 5월 </span><span>램리서치는 CMTX를 상대로 특허법원에 항소했다. 지난 4월 특허심판원이 램리서치의 '한정 링'(C-링) 특허를 CMTX가 침해하지 않았다고 심결했는데, 램리서치가 이에 불복하고 특허법원에 심결취소소송을 제기했다. 같은 달, 플라텍은 램리서치의 '캠 고정 전극 클램프' 특허가 유효라는 특허심판원 심결에 불복하고 특허법원에 심결취소소송을 제기했다. </span></p> <p contents-hash="80d65cd4686a4d4208a868578067123e44ded891838b6f879efef07723e7cc79" dmcf-pid="PdcFedd8jf" dmcf-ptype="general">이기종 기자(gjgj@zdnet.co.kr)</p> </section> </div> <p class="" data-translation="true">Copyright © 지디넷코리아. 무단전재 및 재배포 금지.</p> 관련자료 이전 'TBH: 태스크바 히어로', 동접 50만 코앞…식지 않는 열기 06-14 다음 충격 "사형 선고 가능"…'연인 살해 혐의' 전 NFL 선수 체포 기소 06-14 댓글 0 등록된 댓글이 없습니다. 로그인한 회원만 댓글 등록이 가능합니다.
