[르포]'미래 반도체 실험장'…아이멕, 1나노 시대 앞당긴다 작성일 05-19 28 목록 <div id="layerTranslateNotice" style="display:none;"></div> <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> <section dmcf-sid="bEPfXcd8rB"> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="e3c7557427c72ea62441901c278224866f4acdc4d084c7aca9a8b4351cddc419" dmcf-pid="KDQ4ZkJ6Iq" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="벨기에 루벤에 위치한 아이멕(imec) 본사" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202605/19/etimesi/20260519160225289sxsz.png" data-org-width="500" dmcf-mid="FfQmi6ztIt" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img3.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202605/19/etimesi/20260519160225289sxsz.png" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 벨기에 루벤에 위치한 아이멕(imec) 본사 </figcaption> </figure> <p contents-hash="fe7b1dbf60a7a8efdca7f448573239a0869c6687b0a2544796c80981b4b4865f" dmcf-pid="9wx85EiPrz" dmcf-ptype="general">벨기에 브뤼셀 자벤텀 국제공항에서 약 20㎞ 떨어진 도시 루벤. 도심을 지나 낮은 숲과 녹지가 이어지는 길로 접어들자 유리 외벽의 현대식 연구동이 모습을 드러냈다. 중세부터 유럽 지성의 중심지로 꼽혀온 루벤에 자리한 아이멕(imec) 본사 캠퍼스다.</p> <p contents-hash="83fe1e75328ed83289ae5d0b8286081deee527b3eb20cf1e76e5ff5056fa80a4" dmcf-pid="2rM61DnQD7" dmcf-ptype="general">18일(현지시간) 찾은 아이멕 캠퍼스는 조용한 외관과 달리 내부는 분주했다. 5개 건물로 이뤄진 대규모 단지 곳곳에서 연구자들이 오가고, 클린룸은 쉼 없이 돌아가고 있었다.</p> <p contents-hash="b59732505e888f357034e8e948886f66b6ab9510bedeb2a24ec0508e0460a8fd" dmcf-pid="VmRPtwLxDu" dmcf-ptype="general">거트 베르겐(Gert Bergen) 아이멕 수석부사장 겸 최고전략책임자(CSO)는 이곳을 “업계가 함께 미래 기술을 검증하는 공간”이라고 소개했다. 1984년 설립된 아이멕은 글로벌 반도체 기업과 장비·소재·설계 기업이 차세대 공정 기술을 공동으로 검증하는 '미래 반도체 실험장'으로 자리잡았다.<br></p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="cf4c0787f2193f1fe211ced91911c48a45d8560ef2d0554b80c34d83e78b250e" dmcf-pid="fseQFroMwU" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="국내 파크시스템스의 검사·계측 장비를 비롯해 250대 이상 장비가 24시간 가동 중이다. (사진=박유민 기자)" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202605/19/etimesi/20260519160226599umul.jpg" data-org-width="500" dmcf-mid="3dU3lDnQO1" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img4.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202605/19/etimesi/20260519160226599umul.jpg" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 국내 파크시스템스의 검사·계측 장비를 비롯해 250대 이상 장비가 24시간 가동 중이다. (사진=박유민 기자) </figcaption> </figure> <p contents-hash="2931aab4b3d8c472dacd322fcdb07961334e170c002760f2a5ee0aa190826462" dmcf-pid="4jfKWax2Ip" dmcf-ptype="general">아이멕에는 한국을 포함한 100개국 출신 6500여명이 근무한다. 시스템반도체, 소재, 장비, 설계 등 분야에서 600개 이상 기업·기관이 파트너로 참여하고 있다. 클린룸 면적은 1만2000㎡로, 국내 파크시스템스의 검사·계측 장비를 비롯해 도쿄일렉트론(TEL), ASM 등 글로벌 장비사의 첨단 장비 250대 이상이 24시간 가동 중이다.</p> <p contents-hash="d804fed868e5da8504829cb8ea5083f78fb013d293be04e1f7649e05ecae04c8" dmcf-pid="8A49YNMVI0" dmcf-ptype="general">클린룸 내부로 들어서자 첨단 장비가 눈길을 끌었다. 장비 한 대가 차지하는 공간만으로도 초미세 공정 연구 규모를 짐작하게 했다. 특정 기업이 독자적으로 접근하기 어려운 첨단 장비도 아이멕에서는 공동 연구 인프라가 된다. 그중 핵심은 아이멕이 최근 300㎜ 클린룸에 들여온 High-NA 극자외선(EUV) 노광장비 'EXE:5200'이다. 2나노 이하 칩 기술 개발을 앞당길 장비로, 올해 4분기까지 최종 검증을 마치고 정식 가동될 예정이다.<br></p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="ea3ebdaa195dc30a4f4192a9d9ea5045f724d6223ec5e4f8c7d4c2adb1831212" dmcf-pid="6c82GjRfI3" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="아이멕 클린룸에 도입된 ASML의 'EXE:5200' EUV 장비 (사진=아이멕)" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202605/19/etimesi/20260519160227861tyuu.png" data-org-width="500" dmcf-mid="0tbzYIjJD5" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img2.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202605/19/etimesi/20260519160227861tyuu.png" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 아이멕 클린룸에 도입된 ASML의 'EXE:5200' EUV 장비 (사진=아이멕) </figcaption> </figure> <p contents-hash="e11074e77a347bb3bf32a55e0cd1ed16c1d55f26a02cc6ce7b372799c170a238" dmcf-pid="Pk6VHAe4wF" dmcf-ptype="general">장비 한 대를 들이는 과정부터 협업이 필수다. EXE:5200은 수십 대의 트럭에 나뉘어 운송됐고, 현장에서 240개 이상의 핵심 부품을 조립해야 한다. 장비는 거대하지만 미세 진동에도 민감하다. ASML 엔지니어와 아이멕 인력이 설치·운용 전 과정을 함께 진행하는 이유다. 장비를 '구매'하는 데서 끝나는 것이 아니라, 장비사와 연구소가 한 팀처럼 공정을 만들어가는 구조다.</p> <p contents-hash="626a81e7debffca91c342972dfb8b454b3dadd150d85c030ac0c686f46ab04c9" dmcf-pid="QEPfXcd8Et" dmcf-ptype="general">아이멕 관계자는 “더 미세한 선폭, 더 복잡한 장비, 더 막대한 투자 앞에서 독자 개발만으로는 한계가 뚜렷해지고 있다”며 “아이멕 클린룸은 그 부담을 나누고, 미래 공정의 가능성을 앞당겨 검증하는 공간”이라고 강조했다.<br></p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="37d65d760936faa5fef51e9860989186c8e7e0cd3502f6ac88eea8bfc227425a" dmcf-pid="xDQ4ZkJ6D1" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="아이멕 클린룸 내부 전경. (사진=박유민 기자)" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202605/19/etimesi/20260519160229134emll.jpg" data-org-width="500" dmcf-mid="pKcN6B1ysZ" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img4.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202605/19/etimesi/20260519160229134emll.jpg" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 아이멕 클린룸 내부 전경. (사진=박유민 기자) </figcaption> </figure> <p contents-hash="f015989da2e21f2d40872273484b5c0c855fd4dad7dea39abb52161fb63f8aca" dmcf-pid="yqThi7XSw5" dmcf-ptype="general">아이멕의 목표는 단순 양산이 아니다. 현재 업계 양산 공정보다 여러 세대 앞선 기술을 먼저 검증하는 것이 핵심이다. 2028년 1.4나노급(14A), 2031년 1나노급(10A) 공정을 목표로 차세대 반도체 로드맵 연구를 이어가고 있다.</p> <p contents-hash="af56eea2196bcb39f81257ab5151229358b2a2d10c156cc2ca1de51ce107b2ae" dmcf-pid="WBylnzZvrZ" dmcf-ptype="general">이를 뒷받침하는 투자 규모도 상당하다. 지금까지 클린룸 인프라에 투입된 누적 금액만 약 35억유로(약 6조원)에 이른다. 현재는 4000㎡ 규모의 신규 팹4 건설도 진행 중이며, 2024년부터 2028년까지 약 25억유로(약 4조원)의 추가 설비투자(CAPEX)가 예정돼 있다.</p> <p contents-hash="f2b871dae6786e44ee8d1f2749e081154b8aac7eea8dda243cb4076b5b38b488" dmcf-pid="YbWSLq5TwX" dmcf-ptype="general">루벤=박유민기자 newmin@etnews.com</p> <p contents-hash="fda79e61d8139facaddbfcf14ee988755900c05a43c71b48a4eab95532c1cf4c" dmcf-pid="GKYvoB1yrH" dmcf-ptype="general">박유민 기자 newmin@etnews.com</p> </section> </div> <p class="" data-translation="true">Copyright © 전자신문. 무단전재 및 재배포 금지.</p> 관련자료 이전 맥북 네오에 맞선 인텔의 반딧불 ‘프로젝트 파이어플라이’ [고든 정의 TECH+] 05-19 다음 [배종찬의 보안 빅데이터] 북한 해커보다 백만 배 더 무서운 ‘AI 해커’ 05-19 댓글 0 등록된 댓글이 없습니다. 로그인한 회원만 댓글 등록이 가능합니다.
