워트, "내년 7월 삼성전자 P5에 THC 반입" 작성일 05-05 34 목록 <div id="layerTranslateNotice" style="display:none;"></div> <strong class="summary_view" data-translation="true">1분기 보고서서 밝혀...대만 반도체 업체 장비 납품은 지연</strong> <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> <section dmcf-sid="6HIAMhqFNO"> <p contents-hash="f1dda0134c07d7b2a5e6ad349f64a7f04e2f88557ee3a21251d7d7d110ba45ef" dmcf-pid="PbtTE3e4os" dmcf-ptype="general">(지디넷코리아=이기종 기자)<span>반도체 공정용 </span><span>초정밀 온습도 제어장비(THC)가 주력인 워트가 2027년 7월 삼성전자 평택캠퍼스 5공장(P5)에 </span><span>THC를 반입할 예정이라고 </span><span>밝혔다. </span></p> <p contents-hash="59b4148d293fe6c5cdc5f2b7b2638a1c149b4d8394c79782db91a358f4287a53" dmcf-pid="QKFyD0d8Nm" dmcf-ptype="general">삼성전자의 P5 목표 가동 시점은 2028년이다. <span>평택캠퍼스 내 다른 공장(2개층·4개 클린룸)보다 규모가 큰 </span><span>P5</span><span>(3개층·6개 클린룸)</span><span>에선 주로 고대역폭메모리(HBM)를 주로 만들 예정이다. </span></p> <p contents-hash="4e6eb5e16fb371b317ca72b453e6f65d4ec92f7bf2d1b734d11810b809ab2624" dmcf-pid="x93WwpJ6Ar" dmcf-ptype="general"><span>THC는 반도체 환경 제어 시스템이다. </span><span>주로 전공정인 노광 공정과 후공정인 HBM 공정용 트랙 장비에 장착해 사용한다. THC는 감광액 코팅과 현상 공정 챔버에 정제된 공기를 공급하고, 이를 통해 </span><span>파티클과 온습도, 미량 가스를 정밀하게 제어한다. </span></p> <p contents-hash="0c2e2838f4cf34f81a72f2d3e9e01fb4778338557abb1b4d103054eb4312c5cb" dmcf-pid="ysaMBjXSkw" dmcf-ptype="general"><span>5일 업계에 따르면 워트는 최근 공개한 1분기 보고서에서 "삼성전자의 경우 극자외선(EUV) 공정용 THC 평가를 위해 2025년 말 팹에 장비를 반입했다"며 "2026년 1분기 기준 설치(셋업)가 완료돼 웨이퍼 투입 평가 중"이라고 밝혔다. 이어 "2026년 2분기 평가 완료가 목표"라고 덧붙였다.</span></p> <p contents-hash="c180e208cf5e67f48f4c290b9d358c285b89397b2476047fd7c92363043f5735" dmcf-pid="WONRbAZvoD" dmcf-ptype="general">이어 <span>"고객사(삼성전자) 설비투자 확대로 P4용 장비를 수주해 납품 중"이라며 "(중략) P5는 </span><span>2027년 7월 장비(THC) 반입이 예정돼 있고, 중장기로 추가 수주 기회 확대를 예상한다"고 밝혔다. </span></p> <p contents-hash="a40eba6da36a03ee38a08b255917c68cce680992e1d94677c1c5299af87f4b27" dmcf-pid="YIjeKc5TNE" dmcf-ptype="general">워트는 지난 3월 공개한 2025년 사업보고서에서도 <span>THC 평가 등과 관련한 일정을 소개했지만, 1분기 보고서에서 일정이 보다 구체화됐다. </span><span> </span></p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="594827084f22c4a2003442c6d7945e2e6ad3ca1271799b2802b28a1a622358f6" dmcf-pid="GCAd9k1yok" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="초정밀 온습도 제어장비(THC) (자료=워트)" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202605/05/ZDNetKorea/20260505080212560ozih.png" data-org-width="640" dmcf-mid="43gJ2EtWNC" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img3.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202605/05/ZDNetKorea/20260505080212560ozih.png" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 초정밀 온습도 제어장비(THC) (자료=워트) </figcaption> </figure> <p contents-hash="465a14c7453cee86b8aa838d22de26783eaba889c047dfb6c61720e235e22056" dmcf-pid="HhcJ2EtWcc" dmcf-ptype="general"><span>워트는 </span><span>또 </span><span>다른 </span><span>주요 </span><span>고객사 </span><span>SK하이닉스에 대해선 "2024년 주요 고객사(SK하이닉스)의 </span><span>HBM 공정용 트랙 설비에 THC를 공급해 성능 검증을 마쳤고, 이후 </span><span>관련 공정에 제품을 지속 공급하고 </span><span>있다"고 밝혔다. 이어 "EUV 공정에 대해서도 2025년 말 평가했고, 2026년 1분기 평가 인증을 마쳐 EUV 공정용 THC를 수주해 관련 프로젝트를 수행 중"이라고 덧붙였다. </span></p> <p contents-hash="45235ed5b4d39240ff0223b5b11c025c177c10b17bc4b869a2906568cc1943c4" dmcf-pid="XlkiVDFYaA" dmcf-ptype="general">또, 워트는 "차세대 반도체 공정으로 주목받는 웨이퍼투웨이퍼(W2W) 적층 기술 확산으로 하이브리드 본더 수요가 늘고 있다"며 "이 장비에도 워트 THC 적용이 예정돼있다"고 밝혔다.</p> <p contents-hash="e481b8187c1feda3941da42be4876cabd26b566ab02e901cb591df6522561b23" dmcf-pid="ZSEnfw3Goj" dmcf-ptype="general">다만, 대만 반도체 업체에 대한 장비 납품은 밀리고 있다. 워트는 3월 공개한 2025년 사업보고서에선 "2025년 말부터 대만 사이트에서 에이전트를 통해 유명 칩 제조사 후공정 라인에서 평가 중이고, (중략) 2026년 상반기 양산 수주를 목표로 영업 활동 중"이라고 밝혔는데, 4월 공개한 1분기 보고서에선 "2026년 하반기 양산 수주 확보가 목표"라고 밝혔다.</p> <p contents-hash="2c9e6de67139ec3cb81127a7f138aad9f8d8cac910bfa0509f1e7a3f8979e5f6" dmcf-pid="5vDL4r0HjN" dmcf-ptype="general">워트의 <span>주요 고객사는 삼성전자와 SK하이닉스, 세메스 등이다. 올해 워트가 체결한 단일판매공급계약은 ▲3월 삼성전자 70억원 ▲3월 유니램 8억원 ▲4월 SK하이닉스 20억원 등이다. </span></p> <p contents-hash="48c3d2cb6e9b8f5e5fdaf10da01dca0235e56bef6b8167ef7f56fb27b5c67fb9" dmcf-pid="1Two8mpXoa" dmcf-ptype="general"><span>1분기 실적은 매출 43억원, 영업이익 9억6000만원 등이다. 전년 동기보다 매출은 5.8%, 영업이익은 6.9% 줄었다. </span><span>지난해 실적은 매출 152억원, 영업이익 25억원 등이다. 전년비 매출은 0.2%, 영업이익은 22.3% 늘었다. 매출 구성은 ▲초정밀 온습도 제어장비(THC) 73% ▲공기정화장치(FFU) 13% ▲</span><span>항온기장치(TCU) 3% 등이다</span><span>. </span></p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="c04908ecebaf7feea741d0a43f784d1e47dca31390c38eea74f8a3c3ba53ccf9" dmcf-pid="tyrg6sUZcg" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="(자료=워트)" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202605/05/ZDNetKorea/20260505080213837cufr.png" data-org-width="640" dmcf-mid="8TGIaX6bcI" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img4.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202605/05/ZDNetKorea/20260505080213837cufr.png" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> (자료=워트) </figcaption> </figure> <p contents-hash="a9004c5afb2f8c06b166461475516d21252ea249c96551b0717c6c3ee3ff3524" dmcf-pid="FWmaPOu5co" dmcf-ptype="general">이기종 기자(gjgj@zdnet.co.kr)</p> </section> </div> <p class="" data-translation="true">Copyright © 지디넷코리아. 무단전재 및 재배포 금지.</p> 관련자료 이전 "5년치 일감 쌓아두고 판다"…'천당 지옥' 오가던 메모리 사이클 끝? 05-05 다음 ‘죽은 인터넷 이론’ 현실화하나... ‘바이브 코딩’ 시대 쓰레기 앱 홍수 05-05 댓글 0 등록된 댓글이 없습니다. 로그인한 회원만 댓글 등록이 가능합니다.
