주성엔지니어링, '원자층성장(ALG)' 시대 열었다…반도체·태양광 고객 확보 작성일 03-19 30 목록 <div id="layerTranslateNotice" style="display:none;"></div> <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> <section dmcf-sid="WawV6rXSX6"> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="1385ef620c1391de340afbdf0a7d2eb2776b863ce4e680a0a9725e832419ddf5" dmcf-pid="YNrfPmZvY8" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="주성엔지니어링 용인 R&D센터. (사진=주성엔지니어링)" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202603/19/etimesi/20260319160320896ubei.png" data-org-width="700" dmcf-mid="xorfPmZvGQ" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img2.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202603/19/etimesi/20260319160320896ubei.png" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 주성엔지니어링 용인 R&D센터. (사진=주성엔지니어링) </figcaption> </figure> <p contents-hash="65e511c8bf85cb6b779a3ff7a89d543ad495fd1f50da466351e85e0bd9704fec" dmcf-pid="Gjm4Qs5TG4" dmcf-ptype="general">주성엔지니어링이 세계 최초로 개발한 '원자층성장(ALG)' 기술이 시장 진입에 성공했다. 저비용으로 초미세 회로 구현이 가능한 ALG 장비 고객사를 확보, 회사 신성장동력을 마련했다.</p> <p contents-hash="391973b471a74f314ae6fac7dabe641e7fff81abf304ba6c5bdc0a34640744d8" dmcf-pid="HAs8xO1yYf" dmcf-ptype="general">19일 업계에 따르면 주성엔지니어링은 최근 ALG 기술을 구현할 수 있는 반도체 장비를 고객사에 공급한 것으로 확인됐다. 고객명은 공개하지 않았지만, 메모리 제조 기업으로 알려졌다. 해당 고객사는 기존 원자층증착(ALD)과 ALG를 동시에 구현할 수 있는 장비를 도입했다. 주성엔지니어링이 지난 2024년 업계 처음으로 ALG라는 새로운 개념의 기술을 개발한 지 약 2년 만의 성과다.</p> <p contents-hash="9f3c564b8d05af1ee783898add518fe4b3d52aaf5a4e361e5d746e5f7e43b69c" dmcf-pid="XcO6MItWGV" dmcf-ptype="general">ALG는 질화갈륨(GaN)·비소화갈륨(GaAS)·인듐인(InP) 등 3·5족 화합물을 증착이 아닌 '성장' 공정을 활용해 반도체 회로 등으로 구현하는 기술이다. 기존 회로나 박막을 구현하는 데는 주로 ALD가 쓰였다. 원자 단위로 반도체 회로 구성 물질을 뿌리는 방식이다.</p> <p contents-hash="0ca02b0cfc2181a1fa70aec283e78e80b1c56295d5e61752f42020869367a900" dmcf-pid="Zy1jEtfzY2" dmcf-ptype="general">주성엔지니어링은 이보다 생산성과 품질을 높일 수 있는 기술로 '성장'에 주목했다. 작은 결정을 키워 나가는 방식으로 회로를 구현하는 방식이다. 얼음 알갱이를 얼리는 과정과 유사하다. 기존 증착 대비 노광(물질 굳히기) 및 식각(회로 형태로 깎아내기) 공정을 줄일 수 있어 비용 효율성이 크다. 수천억원에 달하는 극자외선(EUV) 노광 장비 없이도 초미세 회로를 만들 수 있어서다.</p> <p contents-hash="c6bfead9f8f309694197601cf128ea59853b3e10a24d8092509d1be9c0fdcd72" dmcf-pid="5WtADF4qZ9" dmcf-ptype="general">또 실리콘보다 전자 이동 속도가 높은 3·5족 화합물을 통해 보다 고성능 반도체를 제조할 수 있다. 황철주 주성엔지니어링 회장은 단순 신기술이 아닌 반도체 공정 패러다임을 바꿀 '혁신'으로 ALG를 강조했다.</p> <p contents-hash="7ca37cb23377ec725da6745fd11939d3471a4603b4c3e1c57f782ef0440d6c71" dmcf-pid="1YFcw38BHK" dmcf-ptype="general">보통 성장 공정은 1000도가 넘는 고온에 이뤄져 적용 범위가 제한됐지만 주성엔지니어링은 이를 400도로 낮췄다. 웨이퍼나 기판 등 대상에 영향을 최소화할 수 있어 안정적 공정이 가능하다.</p> <p contents-hash="3593df861de33f3124c82b35d04de47f1eece8fb8472c4c902196be112e83844" dmcf-pid="tG3kr06bHb" dmcf-ptype="general">회사 측은 메모리뿐만 아니라 시스템 반도체에도 ALG 기술이 확대 적용될 것으로 전망했다. 특히 초미세 공정이 필요한 반도체 위탁생산(파운드리) 시장을 겨냥하고 있다.</p> <p contents-hash="8a4973edd969d9aa4672c83e8308f4d4c51cb0f0757c4396a72fc2a46a0011da" dmcf-pid="FH0EmpPK5B" dmcf-ptype="general">ALG의 또다른 경쟁력은 반도체 외 디스플레이와 태양광 패널 공정에서도 활용할 수 있는 '범용성'이다. 실제 주성엔지니어링은 태양광 패널 제조 고객사에도 ALG 기술을 지원하는 장비를 공급했다. 해당 장비는 화학기상증착(CVD)와 ALD, ALG를 모두 구현할 수 있는 장비로 전해졌다.</p> <p contents-hash="92023fb47db9f9e1101caee33d3d38f3adfa9b036c2e915c1e41fc97d2caf5a8" dmcf-pid="3XpDsUQ91q" dmcf-ptype="general">반도체 유리기판에서도 ALG 수요를 기대한다. 주성엔지니어링은 일부 반도체 유리기판 제조사와도 기술 협력을 이어갈 방침이다. ALG가 반도체·디스플레이·태양광에 기판까지 사실상 주성엔지니어링 주요 사업 분야에서 모두 활용할 수 있는 기술로 급부상했다는 의미다. 회사는 지난해 본격적인 ALG 공급 확대를 위해 장비 양산 체계를 구축한 바 있다.<br></p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="1cb1edbe6154e33a4cd8cedb27be2fb7df78d274898eb08b4258fbe84cf6a9a8" dmcf-pid="0ZUwOux2Gz" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="황철주 주성엔지니어링 회장이 지난 2024년 7월 IR 행사에서 ALG 기술을 소개했다. (사진=박진형 기자)" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202603/19/etimesi/20260319160322287ansd.png" data-org-width="700" dmcf-mid="yz2SWVoMGP" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img1.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202603/19/etimesi/20260319160322287ansd.png" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 황철주 주성엔지니어링 회장이 지난 2024년 7월 IR 행사에서 ALG 기술을 소개했다. (사진=박진형 기자) </figcaption> </figure> <p contents-hash="97d049712ff5ce48ed139defaea5084f641a35238ea30ef49024fbb4254c9c2a" dmcf-pid="p5urI7MVY7" dmcf-ptype="general">황 회장은 “반도체 등 첨단 산업에서 기술 혁신이 계속 이어지기 위해 노력할 것”이라며 “ALG가 산업 패러다임을 바꿀 혁신으로 자리매김할 것”이라고 말했다.</p> <p contents-hash="b2a03614e8bd580f282c6331e00d1e28526930d361f2c3054d163342605008cd" dmcf-pid="U17mCzRfZu" dmcf-ptype="general">권동준 기자 djkwon@etnews.com</p> </section> </div> <p class="" data-translation="true">Copyright © 전자신문. 무단전재 및 재배포 금지.</p> 관련자료 이전 [스타트업-ing] 브리즘 “3D 프린팅 맞춤형 안경 세계로” 03-19 다음 [경마] 제24회 헤럴드경제배 '클린원' 우승! "그랑프리 우승은 요행이 아니다" 03-19 댓글 0 등록된 댓글이 없습니다. 로그인한 회원만 댓글 등록이 가능합니다.
