위드텍, 파이퍼베큠 특허 상대 비침해·무효심판 청구 작성일 03-11 20 목록 <div id="layerTranslateNotice" style="display:none;"></div> <strong class="summary_view" data-translation="true">파이퍼베큠, 특허침해경고 추정...'웨이퍼 캐리어 입자 오염 측정 기술' 쟁점</strong> <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> <section dmcf-sid="UPKy0kYCNk"> <p contents-hash="3312f00a16560065da0acf20878dc8a38f1ba70ac961e621e77d4ec76c586ea8" dmcf-pid="uQ9WpEGhgc" dmcf-ptype="general">(지디넷코리아=이기종 기자)<span>반도체 공정 분자오염 측정장비업체 위드텍이 독일 파이퍼베큠 특허를 상대로 소극적 권리범위확인심판(소극심판)과 무효심판을 청구했다. 쟁점 기술은 웨이퍼 캐리어 입자 오염 측정 기술이다. 위드텍은 관련 기술로 최근부터 매출이 발생했다. </span></p> <p contents-hash="bc44806a6fd2865e2950a1e15fae09046fd023a6e506a4f1eaf40b9655031d52" dmcf-pid="7x2YUDHlNA" dmcf-ptype="general"><span>11일 업계에 따르면 위드텍은 지난해 8월 특허심판원에 파이퍼베큠의 '반도체 기판을 대기압에서 이송하고 보관하기 위한 운반 캐리어의 입자 오염을 측정하는 스테이션 및 방법' 특허 2건(등록번호 2179362, 2179366)을 상대로 소극심판과 무효심판을 청구했다.</span></p> <p contents-hash="d35119a7148f05faffc91418769a369d8ea08ceb7bde5218ed3172931cad839c" dmcf-pid="zMVGuwXSAj" dmcf-ptype="general">소극심판은 특허심판원에 상대 특허를 침해하지 않았다는 판단을 구할 때 사용하는 분쟁이다. 무효심판에선 해당 특허는 특허성이 없다고 주장한다. </p> <p contents-hash="ebaab6c947c8698bc8488e45a67a0862654d4e8ec8f1e9f40416b513fc78ea55" dmcf-pid="qRfH7rZvjN" dmcf-ptype="general">위드텍은 파이퍼베큠의 <span>'362 특허에 대해선 </span><span>소극심판만 청구했고, '366 특허를 상대로는 소극심판과 무효심판을 모두 청구했다. 위드텍은 소극심판을 청구하며 자신들의 '웨이퍼 캐리어의 파티클 측정장치'가 파이퍼베큠 특허를 침해하지 않았다고 주장했다. 자신들의 장비에 사용한 기술과 </span><span>파이퍼베큠 특허가 서로 다르다는 의미다. </span></p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="b73fb7afb5dd52989e277f94f2504841ebf678595d3b82d65d2d1841758acc63" dmcf-pid="Be4Xzm5TNa" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="파이퍼베큠 특허(등록번호 2179366)의 대표도(왼쪽)와 위드텍 특허(등록번호 2140063)의 대표도(오른쪽) 자료=키프리스)" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202603/11/ZDNetKorea/20260311164945873etkf.png" data-org-width="638" dmcf-mid="01hJEKnQaD" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img4.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202603/11/ZDNetKorea/20260311164945873etkf.png" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 파이퍼베큠 특허(등록번호 2179366)의 대표도(왼쪽)와 위드텍 특허(등록번호 2140063)의 대표도(오른쪽) 자료=키프리스) </figcaption> </figure> <p contents-hash="48cd6141141b946418c134b14a796475fd543033691bf9ddf862763d49409bb9" dmcf-pid="bd8Zqs1ycg" dmcf-ptype="general"><span>위드텍은 지난 2020년 해당 장비와 이름이 같은 </span><span>'웨이퍼 캐리어의 파티클 측정장치' 특허(등록번호 2140063)를 등록했다. </span><span>위드텍의 이 특허에 대해 파이퍼베큠은 무효심판 등을 청구하진 않았다.</span></p> <p contents-hash="d215b2c988cd94884584c43adbdf74ae5bef6f8f0e782850b264d7c2153fa759" dmcf-pid="KJ65BOtWNo" dmcf-ptype="general">위드텍이 <span>소극심판과 무효심판 등을 청구하기에 앞서 </span><span>파이퍼베큠이 특허 침해를 경고한 것으로 추정된다. 일반적으로 특허권자의 침해 주장에 대응할 때 상대는 소극심판과 무효심판을 활용한다. </span></p> <p contents-hash="f91cb219ad2c234c13962655666e14e494632b064ad30a87389b455789742b94" dmcf-pid="9iP1bIFYcL" dmcf-ptype="general">위드텍은 관련 기술로 최근부터 장비 매출을 올린 것으로 알려졌다. 회사 전체 매출에서 차지하는 비중은 크지 않다. <span>파이퍼베큠은 위드텍이 관련 시장에 진입하는 것을 막으려 특허를 사용한 것으로 추정된다. </span></p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="bbeb27500be91fde01581d819e7a2e920e058f273519e0f0ea691a493f8f56c4" dmcf-pid="2nQtKC3Ggn" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="위드텍이 파이퍼베큠 특허를 상대로 청구한 특허심판 (자료=키프리스)" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202603/11/ZDNetKorea/20260311164947133rlzw.png" data-org-width="636" dmcf-mid="pSrQauMVoE" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img1.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202603/11/ZDNetKorea/20260311164947133rlzw.png" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 위드텍이 파이퍼베큠 특허를 상대로 청구한 특허심판 (자료=키프리스) </figcaption> </figure> <p contents-hash="6b633d8b6387c7bd4fb17c72f99f6b323c84059b2dcb6868a3df160de57f9455" dmcf-pid="VLxF9h0Hgi" dmcf-ptype="general"><span>위드텍과 </span><span>파이퍼베큠의 </span><span>특허분쟁은 </span><span>이번이 </span><span>처음은 </span><span>아니다. </span><span>위드텍은 지난 2024년 </span><span>파이퍼베큠의 또 다른 특허 '기판 웨이퍼의 오염을 감시하기 위한 방법 및 장치"(등록번호 1125913)를 상대로 무효심판을 청구했고, </span><span>청구항(권리범위) 일부를 무효로 만들었다. 이후 양쪽 모두 특허법원에 항소하지 않으면서 </span><span>특허심판원 결정(심결)은 </span><span>지난해 3월 확정됐다.</span></p> <p contents-hash="95cdedd06c56fe1cc2dee0d06a52739f925dca27b5b7a3dcf46e353e59ac69a4" dmcf-pid="foM32lpXoJ" dmcf-ptype="general">위드텍은 지난해 반도체 업황 개선으로 실적이 개선됐다. 지난해 매출은 578억원, 영업이익은 51억원 등이다. 전년비 각각 32%, 430% 뛰었다. 위드텍은 지난해 실적에 대해 "반도체 제조환경(AMC·클린룸 내 분자 형태 화학오염물질) 측정장비 매출 증가 영향"이라고 밝혔다. 위드텍은 <span>지난해부터 최근까지 SK하이닉스, 삼성전자 등과 반도체 제조환경 모니터링 장비 단일판매공급계약 여러 건을 체결했다. </span></p> <p contents-hash="80d65cd4686a4d4208a868578067123e44ded891838b6f879efef07723e7cc79" dmcf-pid="4mj2d1fzjd" dmcf-ptype="general">이기종 기자(gjgj@zdnet.co.kr)</p> </section> </div> <p class="" data-translation="true">Copyright © 지디넷코리아. 무단전재 및 재배포 금지.</p> 관련자료 이전 장비 제작은 물론 연애도하고 코딩도 하고 색다른 농사 게임들 03-11 다음 '알파고 대국 10년' 이세돌 "AI 시대 미리 보여준 사건" 평가 03-11 댓글 0 등록된 댓글이 없습니다. 로그인한 회원만 댓글 등록이 가능합니다.
