에스디옵틱스, 0.001초 실시간 초점·이미지 획득 가능한 초정밀 '반도체 검사 모듈' 개발 작성일 03-10 25 목록 <div id="layerTranslateNotice" style="display:none;"></div> <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> <section dmcf-sid="KsJh2VgRIZ"> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="a268e52cdcc7b74648824a0983ae2c2534e4319511fd1a0ccd48b9250075119a" dmcf-pid="9OilVfaerX" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="에스디옵틱스의 차세대 반도체 검사용 모듈 '온 엑시스 콘포칼 WS(On-Axis Confocal WS) 모듈'(사진=에스디옵틱스)" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202603/10/etimesi/20260310170305340wzon.png" data-org-width="700" dmcf-mid="yO6Du7Rfr8" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img4.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202603/10/etimesi/20260310170305340wzon.png" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 에스디옵틱스의 차세대 반도체 검사용 모듈 '온 엑시스 콘포칼 WS(On-Axis Confocal WS) 모듈'(사진=에스디옵틱스) </figcaption> </figure> <p contents-hash="7af618f270a11702d0f08e6be1ea51830dd6be4df3fc841e8a25bbc88f70b887" dmcf-pid="2InSf4NdmH" dmcf-ptype="general">에스디옵틱스(SD OPTICS)가 '초고속'과 '고정밀'이라는 두 마리 토끼를 잡은 차세대 반도체 검사 모듈을 개발했다. 독자 기술인 가변 초점 조리개와 공초점(Confocal) AF를 융합한 성과로, 0.0012초만에 초점을 잡고 초정밀 계측 장비 수준 정확도를 구현했다.</p> <p contents-hash="2d6162cc0449bfd9300abaabdb02b7fdc5e61f31d40b12d3195289a25c073ea1" dmcf-pid="VCLv48jJDG" dmcf-ptype="general">에스디옵틱스는 최근 '온 엑시스 콘포칼 WS(On-Axis Confocal WS) 모듈'을 개발했다고 10일 밝혔다. 웨이퍼·유리·금속·절연체 등 복합 재질의 첨단 반도체 패키징 검사 수요를 정조준한 제품이다.</p> <p contents-hash="916d118c8820d36090a78a94ab4e34450be95a701d7176f0817a0efc329f77b6" dmcf-pid="fhoT86AirY" dmcf-ptype="general">이 모듈은 공초점 기반 실시간 초정밀 종방향(Z축) 계측을 수행하면서 동시에 초고속 AF를 구현한 것이 특징이다. 이를 위해 에스디옵틱스는 초고속 가변 초점 렌즈 기술인 'MALS(Micro-mirror Array Lens System)'와 계측 분야에서 높은 정밀도를 제공하는 공초점 AF 기술을 동일 광축(On-Axis) 구조로 통합했다.</p> <p contents-hash="712e5015c756c116ba07bde553692829b899d2cd878c6d045e5d39a2dc1dd437" dmcf-pid="4lgy6PcnsW" dmcf-ptype="general">MALS는 에스디옵틱스가 업계 최초로 개발한 기술이다. 정밀기계기술(MEMS)로 만들어진 렌즈 내부에 6000여개의 초미세 거울이 빛의 각도를 실시간 제어해 초점을 맞춘다. 세계적인 광학 기업 독일 칼 자이스도 도입해 활용하고 있다.</p> <p contents-hash="48442218d0da7391cbeffb10068f6f7266fc23529086f2db95ed1457809cf825" dmcf-pid="8SaWPQkLEy" dmcf-ptype="general">공초점 AF는 레이저와 핀홀을 통해 초점에 맞는 빛만 검출하는 기술로, 3차원(3D) 이미지·영상을 구현할 수 있을 뿐만 아니라 횡방향(XY축) 및 종방향(Z축) 해상도를 대폭 키울 수 있다.</p> <p contents-hash="02fd07c500415bc77ba2e1f1c5565bbd8c6f9b6388e3e0950e566709c2d875e4" dmcf-pid="6vNYQxEosT" dmcf-ptype="general">에스디옵틱스는 두 핵심 기술을 결합, 50배 대물렌즈 기준 0.0012초 초점 고정(Focus-lock) 속도를 확보했다. 고속 라인 스캔이나 대면적 패키지, 웨이퍼 표면 3D 계측·검사 등 빠른 속도로 양산성이 필요한 분야에 적합하다.</p> <p contents-hash="eeebbe45d68d6c711211f3c1ada7406c3ea71ddbd830005f57b36d7867a06967" dmcf-pid="PTjGxMDgIv" dmcf-ptype="general">또 0.15마이크로미터(㎛) Z축 반복 측정 정밀도도 실현했다. 일반 광학 검사 장비가 아닌 고정밀 계측 장비에서나 가능한 수준으로, Z축에서 여러 번 측정했을 때도 이전 위치와 일관된 측정 결과를 제공한다.</p> <p contents-hash="ba30299439dbef785ac992568201424e8983103822c3ce6b3b9a7ce9a5715ce7" dmcf-pid="QyAHMRwarS" dmcf-ptype="general">△고대역폭메모리(HBM)를 구현하기 위해 D램 웨이퍼에 미세 구멍을 뚫는 실리콘관통전극(TSV) △반도체 유리기판의 신호 전달 경로인 글라스관통전극(TGV) △첨단 반도체 패키지용 마이크로 범프 및 재배선(RDL) 등 수㎛ 이하 높이 변화도 이동 중에 실시간으로 정밀 측정할 수 있다.</p> <p contents-hash="b06b60c09f79c035f4b55a09bc01d1f73e07af215eee44a2a4d2bc4cec7830fb" dmcf-pid="xXwtinIkwl" dmcf-ptype="general">글로벌 검사 장비 기업이 다양한 자동 초점과 Z축 측정 기술을 제공하지만, 에스디옵틱스는 초고속과 고정밀 측정 역량을 동시에 구현해 차별화했다.<br></p> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="a928d65762c469938432ae5c25b27ca31112f87cc38d0b9b3656c868679caf08" dmcf-pid="yJBoZ5V7mh" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="에스디옵틱스 '온 엑시스 콘포칼 WS 모듈'이 유리 기판을 검사하는 모습(사진=에스디옵틱스)" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202603/10/etimesi/20260310170306607gtrs.jpg" data-org-width="700" dmcf-mid="bGaWPQkLr5" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img2.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202603/10/etimesi/20260310170306607gtrs.jpg" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> 에스디옵틱스 '온 엑시스 콘포칼 WS 모듈'이 유리 기판을 검사하는 모습(사진=에스디옵틱스) </figcaption> </figure> <p contents-hash="cd20ce445c45ea39d108ab01612d7097b13c52540ee73513e34333c7bd78f96e" dmcf-pid="Wibg51fzwC" dmcf-ptype="general">해당 모듈은 이미 기술 성능을 평가받아 반도체와 디스플레이 공정 주요 검사 작업에 적용 중이다. 반도체 유리기판 TGV를 포함, 검사 장비에 적용돼 추가 성능 평가도 진행되고 있다. 특히 TGV 검사는 1~2㎛ 이하 수준 정밀도와 고속 AF 성능이 동시에 요구되는 만큼, 모듈 수요가 커질 것으로 회사 측은 내다봤다.</p> <p contents-hash="9bab23648fbe82516f44a2ae5d93c8e7b6f4840b6aceadda342170f96f90e9ea" dmcf-pid="YnKa1t4qII" dmcf-ptype="general">정경석 에스디옵틱스 최고전략책임자(CSO) 겸 부사장은 “고속과 정밀도를 함께 요구하는 차세대 패키징 및 기판 산업에서 전수 검사 수요가 증가하면서 AF는 단순 초점 기능이 아니라 핵심 계측 기술로 진화하고 있다”며 “이번 시스템은 고속 자동 광학(AOI) 검사 장비, 3D 검사 장비, 웨이퍼 계측 장비 등 다양한 고객사 플랫폼에 적용될 예정으로, 장비 기업과의 협업을 통해 기술 확산에 집중할 것”이라고 밝혔다.</p> <p contents-hash="0d4e49c39cb29fc13f35b5c875e8b142d26f5f19b2011e0e80dd80cf6d9c1a1a" dmcf-pid="GL9NtF8BsO" dmcf-ptype="general">권동준 기자 djkwon@etnews.com</p> </section> </div> <p class="" data-translation="true">Copyright © 전자신문. 무단전재 및 재배포 금지.</p> 관련자료 이전 '저속 노화' 정희원, 검찰 불구속 송치…강제추행 혐의 제외 03-10 다음 흩어진 경기체육 역사 모은다…‘경기체육사 편찬’ 첫발 03-10 댓글 0 등록된 댓글이 없습니다. 로그인한 회원만 댓글 등록이 가능합니다.
