“中, EUV 노광장비 시제품 완성” 중국판 맨해튼 프로젝트 작성일 12-18 23 목록 <div id="layerTranslateNotice" style="display:none;"></div> <strong class="summary_view" data-translation="true">반도체 초미세공정 필수 장비<br>네덜란드 ASML 독점 생산해 수퍼을<br>2019년부터 대중 수출 금지<br>“2030년 시제품으로 칩 생산 전망”</strong> <div class="article_view" data-translation-body="true" data-tiara-layer="article_body" data-tiara-action-name="본문이미지확대_클릭"> <section dmcf-sid="XW72UBCE5h"> <figure class="figure_frm origin_fig" contents-hash="8ca334361c1cc3e1c360b4d970509b9ef745f1be57017af1bb2d00c6746242a6" dmcf-pid="ZYzVubhDZC" dmcf-ptype="figure"> <p class="link_figure"><img alt="ASML의 EUV(극자외선) 노광 장비. /ASML" class="thumb_g_article" data-org-src="https://t1.daumcdn.net/news/202512/18/chosun/20251218151806136putw.jpg" data-org-width="788" dmcf-mid="HgsvrCx2Yl" dmcf-mtype="image" height="auto" src="https://img1.daumcdn.net/thumb/R658x0.q70/?fname=https://t1.daumcdn.net/news/202512/18/chosun/20251218151806136putw.jpg" width="658"></p> <figcaption class="txt_caption default_figure"> ASML의 EUV(극자외선) 노광 장비. /ASML </figcaption> </figure> <p contents-hash="23548bbaa503203e4edf4c0f0752b212b594eee238b5eaa1729467e673ba4cd4" dmcf-pid="5Gqf7KlwHI" dmcf-ptype="general">중국이 최첨단 반도체 생산에 필수적인 극자외선(EUV) 노광 장비의 시제품을 개발한 것으로 알려졌다. 네덜란드 ASML이 독점 생산하는 EUV 장비는 현재 중국 수출이 전면 금지된 상태다. 이 때문에 중국은 첨단 반도체 생산에 심각한 지장을 겪었다. 하지만 중국이 EUV의 시제품을 만드는 데 성공하면서, 이 같은 병목도 일정 부분 해소될 전망이다. 메모리 반도체와 인공지능(AI) 칩 등 반도체 전반에 걸쳐 자립에 나선 중국이 반도체 생산 장비까지 자체 능력으로 구축에 나섰다는 분석이 나온다.</p> <p contents-hash="c1682308a1e8ebc2ddf424afedd595244c4568f126a5d89a77e4ff176c57045d" dmcf-pid="1HB4z9SrHO" dmcf-ptype="general">◇EUV까지 자립하는 中</p> <p contents-hash="3004c5dd6cc5731c4e35fbbe161d58f99c2f77a7c13fe01c439af04e7df275fa" dmcf-pid="tXb8q2vmXs" dmcf-ptype="general">로이터는 17일(현지 시각) 중국이 올해 초 선전의 보안 연구 시설에서 EUV 노광 장비의 시제품을 완성하고, 현재 시험 가동 중이라고 보도했다. 이 장비는 극자외선을 만드는 데는 성공했지만, 아직 실제로 반도체를 생산할 수준은 아닌 것으로 전해졌다. 로이터는 “이 프로젝트는 ‘중국판 맨해튼 프로젝트(미국의 원자폭탄 개발 계획)’로 불린다”며 “ASML 장비보다 조잡하지만, 시험 가동에는 충분하다”고 했다.</p> <p contents-hash="12bd49f7edb737908d0f20905de962979a47ed9ddaf0959baa11223c7b603446" dmcf-pid="FZK6BVTsGm" dmcf-ptype="general">노광 장비는 반도체 회로를 웨이퍼에 빛으로 새기는 장비다. 가장 첨단 장비인 EUV는 13.5㎚(나노미터) 파장의 빛을 쏴 이전 세대보다 훨씬 더 촘촘하게 새길 수 있어, 초미세 공정에 필수 장비로 꼽힌다. EUV 장비를 유일하게 만들 수 있는 ASML이 ‘반도체 수퍼 을’로 불리는 이유다. 미국과 네덜란드 정부는 2019년부터 EUV 장비의 중국 수출을 제한했다. 중국은 한 세대 전 장비인 심자외선(DUV) 장비에 의존해야 했고, 5나노 이하 초미세 공정의 칩을 만들 수 없었다. 2023년부터는 DUV 장비마저 중국 수출이 금지됐다.</p> <p contents-hash="17d3ac5c66cf9b1072a54fa9185f048f489077a6818d157c8401f3ecb365c102" dmcf-pid="359PbfyOtr" dmcf-ptype="general">반도체 업계에서는 중국이 EUV 장비를 개발하는 데 상당한 시간이 걸릴 것이라고 봤다. 광원과 광학계(거울), 진공 시스템 등 모든 시스템이 원자 단위의 정밀도로 동시에 작동해야 하기 때문이다. 하지만 중국 정부는 반도체 자립 전략의 일환으로 EUV 개발 프로젝트를 은밀하게 추진했다. 거액의 계약금을 주고 ASML 출신 중국계 직원들을 영입했다. 이들을 중심으로 ASML의 EUV 장비를 분해해 구조와 작동 방식 등을 파악하는 ‘역설계’ 방식으로 자체 EUV를 개발한 것이다. 로이터는 “중국은 2028년까지 EUV 시제품으로 칩을 생산하는 것을 목표로 삼았으나, 현실적인 시점은 2030년이 될 것”이라면서도 “분석가들이 예상했던 것보다 훨씬 빠른 시점”이라고 했다.</p> <p contents-hash="5cc384dca69c24716a4d4d55182048d88cbc948315df97bc3d7deb2b1be6abc3" dmcf-pid="012QK4WIXw" dmcf-ptype="general">중국의 EUV 자립이 현실화할 경우 중국 반도체 생태계는 지금과 비교할 수 없을 정도로 도약할 수 있다는 분석이다. 그간 중국 반도체 산업은 설계와 패키징 등에서 발전해왔지만, EUV 장비라는 핵심 병목 탓에 최첨단 공정으로 확장하지 못했다. 중국 최대 파운드리 업체인 SMIC는 DUV 장비로 기술력을 극한까지 끌어올려 7나노 공정까지 구현했지만, TSMC나 삼성이 보유한 3나노 이하 공정에는 미치지 못했다. EUV 장비를 자체 확보하게 되면 한국과 대만에 맞먹는 초미세 반도체 생산 역량을 갖추게 된다.</p> <p contents-hash="5d54d36bc9dd2ff01de1ed2a2273954ed3e7cc438452c0149ff12cc477a0874a" dmcf-pid="ptVx98YC1D" dmcf-ptype="general">◇기술력 한계도</p> <p contents-hash="cb53bc64f829435727b1699b6edc88426043e1db0a5a1ffb6bc9041f7764b5ad" dmcf-pid="Uvpb37sA5E" dmcf-ptype="general">다만 기술력 한계도 명확하다. 중국이 EUV 장비 자체 생산에 필요한 부품을 확보하는 것 자체가 어렵기 때문이다. ASML 장비에는 독일 자이스의 광학계가 들어간다. 자이스의 초정밀 광학계는 EUV 빛을 반사하고 초점을 맞춰주는 역할을 한다. 중국과학원이 시제품 광학 시스템을 구축했지만, 아직 정밀도와 내구성이 확보되지는 않은 것으로 전해졌다. 이번 시제품을 구축할 때도 ASML의 중고 제품이나 일본 니콘, 캐논의 부품이 활용됐다고 로이터는 전했다.</p> <p contents-hash="0cd63067c71b5b73798d0016196603b518f16e101ddafc5d220947d1ad211f2e" dmcf-pid="uTUK0zOcHk" dmcf-ptype="general">반도체 업계 관계자는 “현실적으로 단기간에 EUV 장비를 안정적으로 상용화하기는 어려울 것으로 보인다”면서도 “중국의 반도체 자립 시도가 반도체 설계를 넘어 공정과 장비까지 전방위적으로 진행되고 있다”고 했다.</p> </section> </div> <p class="" data-translation="true">Copyright © 조선일보. 무단전재 및 재배포 금지.</p> 관련자료 이전 "재미있는 키스신 처음"…서현진 표 멜로 '러브 미' [ST종합] 12-18 다음 국산 NPU, 공공이 첫 ‘큰손’ 된다…“국방·치안 AX에 국산 NPU 사용” 12-18 댓글 0 등록된 댓글이 없습니다. 로그인한 회원만 댓글 등록이 가능합니다.
